[实用新型]匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳电池湿制程生产技术领域中的槽体盖板结构，尤其涉及一种匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构。

背景技术

太阳能电池片普遍使用湿法制绒、湿法刻蚀等工序，制绒通常用来去除损伤层和降低反射率，刻蚀工序用于腐蚀硅片侧面边缘PN结，防止边缘导通漏电。湿制程槽体通常采用功能槽与水槽相邻，功能槽与功能槽相间隔的方式排布，槽体上方采用槽盖覆盖防止气体挥发入空气中。

现在扩散技术有管式和链式两种，其中链式扩散对比管式扩散，即使去除硅片表面的PSG(磷硅玻璃)，PN结表面仍然有一层富磷层。链式扩散形的PN结一般不能直接用于太阳能电池，需要利用刻蚀步骤进行方阻提升和边缘隔离，匹配现在的行业内普遍使用的高方阻工艺。

为了去除链式扩散表面形成的较厚的PSG及富磷层，在不增加槽体长度的情况下，通常采用增加药液浓度的方法来解决。但是药液浓度的增加会导致药液的挥发增强，在抽风不好的情况下会引起药品串槽、风刀堵塞等异常，最终导致电性能降低、电池片色斑等不良情况。

湿制程盖板通常只是采用增强抽风的方法来防止以上情况，可是对需要采用气象腐蚀的链式扩散是不可取的，因为抽风增强会导致道与道之间硅片氧化情况差异增大，方阻不均匀。

因此，亟待解决上述问题。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的是提供一种气流稳定且可有效收集滴落的液滴的匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构。

技术方案：为实现以上目的，本实用新型所述的一种匹配链式扩散的湿制程抽风盖板结构，包括由顶板和四面侧板组成的用于封闭槽体的箱型槽盖，该箱型槽盖的顶板上设有两个与外部抽风管道相连通的抽风管接头，该箱型槽盖的内腔中设有均布有若干个抽风孔的匀流板，该匀流板与箱型槽盖的顶板之间垂直设有冷凝板。该抽风盖板结构利用冷凝板和匀流板提高抽风效率，使箱型槽盖下部气流更加均匀；在冷凝板上形成的液滴可以顺着冷凝板流下被有效的收集，降低了滴液导致的产品不良率。

其中，所述匀流板是由两个相互连接且成一定角度倾斜设置的板片构成的倒V型板。该匀流板与槽盖内壁为斜角连接结构使得抽风过程中湍流更小，气流更加稳定；同时匀流板指向功能槽与水槽的交界处，使得抽风效率进一步得到提升，大大减低了槽盖对气流的影响，不会对气流产生扰动，即可保障硅片表面氧化均匀。

优选的，所述匀流板为一体折弯成型结构。

再者，所述冷凝板位于倒V型匀流板的折线交界处。

进一步，所述冷凝板由便于抽取废气的抽气区域和便于液滴滴落的冷凝区域构成，所述抽气区域为位于冷凝板上部靠近抽风管接头处且开设有若干个抽风孔的弧形区域。该冷凝板上靠近抽风管接头处的弧形抽气区域使得两侧气流可均匀从抽风管接头处抽出，同时冷热气流在下部空间混合生成液滴时，液滴亦可以顺着冷凝区域的板片流下，从而被有效收集。

其中，所述抽风管接头关于箱型槽盖的横向中心面对称，且其中心线与箱型槽盖的纵向中心面相重合。抽风管接头的空间合理分布位置可保障抽风的气流均匀，提高抽风效率。

优选的，相邻的所述抽风管接头沿箱型槽盖长度方向的间距为箱型槽盖长度的 1/2～5/6。该抽风口的距离设置合理，在保障整体箱型槽盖结构强度的基础上，最大化增强了抽风能力。

进一步，所述箱型槽盖的侧板上还设有便于冷凝液排出的导出口。本实用新型中抽到的废气将会在箱型槽盖中被混合收集，低落的液滴也能被有效收集，不会低落在水槽，影响清洗效果，收集到的液滴可由导出口倒出。