[实用新型]微型气体传输装置有效
申请号: | 201720151989.5 | 申请日: | 2017-02-20 |
公开(公告)号: | CN206477983U | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 廖家淯;陈世昌;廖鸿信;黄启峰;韩永隆 | 申请(专利权)人: | 研能科技股份有限公司 |
主分类号: | F04B45/047 | 分类号: | F04B45/047 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 喻学兵 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微型 气体 传输 装置 | ||
1.一种微型气体传输装置,其特征在于,包含:
一出气板,具有一出气管、一出气孔及多个凸出部,该出气管设置于该出气板的一第一表面,该出气孔设置于该出气管中并贯穿该出气板,用以排出气体,该多个凸出部设置于该出气板的一第二表面上,且每两相邻的该凸出部之间定义形成凹陷的至少一通气口部;
一共振片,具有一中空孔洞,对应该出气板的该出气孔;
一压电致动器,具有:
一悬浮板,具有一第一表面与一第二表面;
一外框;
至少一支架,该至少一支架连接该悬浮板及该外框且设置于该悬浮板及该外框之间;以及
一压电元件,贴附于该悬浮板的该第一表面;以及
一盖板,具有一侧壁及一底板,该侧壁环绕该底板周缘而凸设于该底板上并与该底板形成一容置空间,且该共振片及该压电致动器设置于该容置空间中;
其中,上述的该出气板、该共振片、该压电致动器及该盖板依序对应对叠设置定位,该出气板与该共振片之间形成一汇流腔室,该盖板与该共振片之间形成一第一腔室,当该压电致动器受驱动以进行集气作业时,气体先由该出气板的该至少一通气口部汇集至该汇流腔室,并进一步经由该共振片的该中空孔洞流至该第一腔室暂存,当该压电致动器受驱动以进行排气作业时,气体先由该第一腔室通过该共振片的该中空孔洞流至该汇流腔室,再经该出气孔排出。
2.如权利要求1所述的微型气体传输装置,其特征在于,该多个凸出部对应设置于该出气板的多个边角,且其形态为自该多个边角向外凸出的结构。
3.如权利要求2所述的微型气体传输装置,其特征在于,该多个凸出部与该出气板一体成型的结构。
4.如权利要求1所述的微型气体传输装置,其特征在于,该微型气体传输装置的该共振片与该压电致动器之间具有一间隙。
5.如权利要求1所述的微型气体传输装置,其特征在于,该微型气体传输装置更包括至少一绝缘片及一导电片,且该至少一绝缘片及该导电片依序设置于该压电致动器的下。
6.如权利要求1所述的微型气体传输装置,其特征在于,该微型气体传输装置的该悬浮板于该第二表面上更具有一凸部。
7.如权利要求6所述的微型气体传输装置,其特征在于,该悬浮板的该凸部为一圆柱结构。
8.如权利要求1所述的微型气体传输装置,其特征在于,该微型气体传输装置于该支架、该悬浮板及该外框之间还具有至少一空隙。
9.如权利要求1所述的微型气体传输装置,其特征在于,该微型气体传输装置的该压电致动器的该支架的两端点分别连接该外框与该悬浮板。
10.如权利要求5所述的微型气体传输装置,其特征在于,该压电致动器的该外框具有一导电接脚,该导电片具有一导电接脚,而该盖板具有一开口与该出气板的该通气口部对应,以形成该导电片的该导电接脚与该压电致动器的该导电接脚得以凸出设置于向外穿过该盖板的该开口而凸出于该盖板之外,以便于与外部电源连接。
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