[实用新型]用于扫描电子显微镜的预倾角样品座

权利要求书

1.一种用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，包括样品基座（3），样品基座（3）的底部设置用于连接SEM样品台的插槽座（1）；其特征是：所述样品基座（3）的边缘分布多个预倾角支撑柱（6），预倾角支撑柱（6）朝向样品基座（3）中心的一侧为用于放置断口样品（5）的倾斜面；所述预倾角支撑柱（6）的倾斜面的倾角分别与不同断口样品（5）的断面的倾斜度相一致，从而将设置在倾斜面上的断口样品（5）的断面呈水平状态放置。

2.如权利要求1所述的用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，其特征是：所述插槽座（1）上设有插槽（2）。

3.如权利要求2所述的用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，其特征是：所述插槽（2）采用燕尾形插槽。

4.如权利要求1所述的用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，其特征是：所述样品基座（3）为圆形。

5.如权利要求1所述的用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，其特征是：所述预倾角支撑柱（6）为三个，等距离分布在样品基座（3）的边缘。

6.如权利要求5所述的用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，其特征是：所述三个预倾角支撑柱（6）的倾斜面的倾角分别设置为15°、45°、60°。

7.如权利要求1所述的用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，其特征是：所述样品基座（3）和预倾角支撑柱（6）均采用金属材料制作。

8.如权利要求1所述的用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，其特征是：所述预倾角支撑柱（6）的高度不超过20mm。

9.如权利要求1所述的用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，其特征是：所述断口样品（5）通过双面导电胶（4）固定在预倾角支撑柱（6）的倾斜面上。