[实用新型]一种用于降低多晶硅铸锭碳氧含量的装置

权利要求书

1.一种用于降低多晶硅铸锭碳氧含量的装置，其特征在于：包括一下壳体，在下壳体的空腔内设有一通过支撑柱固连在下壳体空腔底部的支撑板，在支撑板顶部设有一坩埚，在坩埚的各棱角处分别竖直设有一固连在支撑板上的限位杆，在各相邻的限位杆下部的支撑板上设有一卡槽，在卡槽内插装一内侧壁与坩埚外侧壁相抵接的护板，所述护板包括一底部竖直插装在其对应位置上的卡槽内且内侧壁与坩埚外侧壁相抵接的固定板，在固定板的顶部设有一内端底部与坩埚顶部相抵接的平板，平板的顶部沿其前后方向分别竖直设有若干个插装孔，在各插装孔上部左侧分别设有一穿出平板内侧壁的内导气孔，在各插装孔下部右侧分别设有一穿出平板外侧壁的外出气孔，在下壳体上方罩设一上壳体，在上壳体的空腔内设有一与坩埚顶部相抵接的顶部加热板，在顶部加热板上设有两导电石墨柱，在两导电石墨柱之间的顶部加热板上竖直设有一与坩埚内腔相连通设置的进气管；导电石墨柱通过导线与外部电源相连通设置。

2.根据权利要求1所述的一种用于降低多晶硅铸锭碳氧含量的装置，其特征在于：在各外出气孔的平板外侧壁上分别固连一防倒流圆台管，所述防倒流圆台管为一中空设置的右端管径逐渐减小的圆台状导管。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于降低多晶硅铸锭碳氧含量的装置，其特征在于：在各护板的外侧分别设有一侧加热板，各侧加热板通过导线与外部电源相连通设置。

4.根据权利要求3所述的一种用于降低多晶硅铸锭碳氧含量的装置，其特征在于：在各插装孔内分别插装一中空设置的插装管，在各插装管的上部与下部分别设有一与外出气孔、内导气孔相连通设置的过渡孔。