[实用新型]硅片花篮有效
申请号: | 201720138695.9 | 申请日: | 2017-02-16 |
公开(公告)号: | CN206480608U | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 李述周 | 申请(专利权)人: | 常州市科沛达超声工程设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/68;H01L21/683 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所32225 | 代理人: | 孙彬,郑明星 |
地址: | 213025 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 花篮 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种硅片承载装置技术,尤其是一种硅片花篮。
背景技术
目前,大多数一线光伏组件和太阳能硅片供应商产品供货能力将很难跟上需求上涨的步伐,因为中国市场装机量需求增长迅猛,对生产硅片的设备产能提出更高的要求。市场使用的硅片花篮容量为25片、50片,如果花篮容量增加至100片,将减少插片环节、硅片清洗环节、硅片分选环节换蓝时间,从而提高产能。
现有厂商生产的100片硅片花篮,尺寸稳定性差,花篮需要通过烘箱,从而对硅片进行烘干,工艺时间5min温度80~90℃的烘干花篮热变形,经过常温冷却后,第一片基准高度超出允许误差范围,无法再次使用。现有硅片花篮未解决多次使用后基准面到第一片高度的一致性,无法满足设备要求基准片误差<30um的要求。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种硅片花篮。
本实用新型解决现有技术问题所采用的技术方案:一种硅片花篮,包括前端板、后端板和花篮侧板,所述花篮侧板上等距离分布有若干隔片,相邻两隔片之间形成用于卡放硅片的卡槽,还包括定位杆和加强杆,所述定位杆穿过所述花篮侧板上的耳孔与所述前端板、后端板连接,所述加强杆设于所述花篮侧板底部,所述加强杆与所述前端板、后端板固定连接。
进一步地,所述定位杆上设有若干定位环,所述定位环采用多点焊接与所述定位杆连接。
进一步地,所述隔片数量为99个,可以卡放100片硅片。
进一步地,所述硅片花篮还包括挂耳轴,所述挂耳轴分别设于所述前端板、后端板的外侧,所述挂耳轴与所述前端板、后端板螺纹连接。
进一步地,所述花篮侧板采用合金塑料注塑而成,热稳定性强,保证了第一片基准高度在循环使用的一致性。
采用了上述技术方案,本实用新型具有以下的有益效果:本实用新型通过定位杆定位,底部通过加强杆加强,花篮侧板用定位环定位后,保证了基准高度,解决长时间使用花篮变形问题,并有效控制基准面误差<30um;节约频繁更换花篮的时间,提高硅片的生产效率;提高了产能,从而降低了单片的生产成本。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型的前视图;
图3是本实用新型的俯视图;
图4是本实用新型某一卡位环的局部放大图。
图中:1、前端板,2、后端板,3、花篮侧板,4、隔板,5、卡槽,6、定位杆,7、加强杆,8、定位环,9、挂耳轴。
具体实施方式
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1至图3所示的一种硅片花篮,包括前端板1、后端板2和花篮侧板3,所述花篮侧板3上等距离分布有若干隔片4,所述隔片4数量为99个。相邻两隔片4之间形成用于卡放硅片的卡槽5。还包括定位杆6、加强杆7和挂耳轴9,所述定位杆6穿过所述花篮侧板3上的耳孔与所述前端板1、后端板2连接,所述加强杆7设于所述花篮侧板3底部,所述加强杆7与通过前端板1、后端板2上面的内六角螺纹孔与前端板1、后端板2固定连接。所述定位杆6上设有若干定位环8,所述定位环8采用多点焊接与所述定位杆6连接。所述挂耳轴9分别设于所述前端板1、后端板2的外侧,所述挂耳轴9与所述前端板1、后端板2螺纹连接。
如图4所示,本实用新型的定位环8位于定位杆6与花篮侧板3的耳孔后。
具体地,所述花篮侧板3采用合金塑料注塑而成,热稳定性强,保证了第一片基准高度在循环使用的一致性。
本实用新型花篮通过定位杆6定位,底部通过加强杆7加强,花篮侧板3用定位环8定位后,保证了基准高度,解决长时间使用花篮变形问题,并有效控制基准面误差<30um;节约频繁更换花篮的时间,提高硅片的生产效率;提高了产能,从而降低了单片的生产成本。
以上所述的具体实施例,对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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