[实用新型]一种优化的石墨部件

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及石墨加工技术领域，特别涉及一种优化的石墨部件。

【背景技术】

近年来国内半导体晶圆厂，国家出台了4000亿国家集成电路的产业大基金来支持国内的半导体行业。离子注入机是目前半导体晶圆厂内的最精密的关键设备，石墨类的耗材需求量很大，对石墨类的零部件不但要求高纯度无污染，还要求同一套石墨保护组件能最大限度提升使用寿面，延长机台俩次保养的间隔时段，这样石墨表面喷砂就有了应用市场，现有的石墨零部件常规设计方式，更换周期较短，中央区域被冲击损耗的很快，为此，我们提出一种优化的石墨部件。

【实用新型内容】

本实用新型的主要目的在于提供一种优化的石墨部件，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种优化的石墨部件，包括石墨零件和替换零件，所述石墨零件表面中央设有替换零件，所述替换零件和石墨零件可拆卸连接，所述替换零件为喷砂处理的石墨件。

进一步的，所述石墨零件采用高纯石墨材料制成。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：该实用新型的石墨零件表面中央可拆卸设有替换零件，且替换零件为喷砂处理的石墨件，增大石墨零部件的使用寿命，增强石墨对束流的抗冲击，可以有效增长石墨使用寿命，延长石墨件保养时间。

【附图说明】

图1为优化前石墨部件损耗状态示意图；

图2为本实用新型优化的石墨部件的结构示意图。

图中：1、石墨零件；2、替换零件。

【具体实施方式】

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-2所示，一种优化的石墨部件，包括石墨零件1和替换零件2，所述石墨零件1表面中央设有替换零件2，所述替换零件2和石墨零件1可拆卸连接，所述替换零件2为喷砂处理的石墨件。

其中，所述石墨零件1采用高纯石墨材料制成。

工作原理：该实用新型的石墨零件1表面中央可拆卸设有替换零件2，且替换零件2为喷砂处理的石墨件，增大石墨零部件的使用寿命，增强石墨对束流的抗冲击，可以有效增长石墨使用寿命，延长石墨件保养时间。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。