[实用新型]一种干泵尾气管道

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种干泵尾气管道，尤其涉及一种用于半导体或者显示面板制程工艺中的干泵尾气管道。

背景技术

液晶显示面板以及半导体制程中某些工艺需要在真空腔室中进行，此时一般利用干泵(Dry Pump)对制程设备及真空腔室进行净化和抽真空处理，同时将制程尾气排出干泵外，例如，液晶显示面板的栅极绝缘层或者钝化保护层的制备过程，就是利用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition；CVD)工艺在真空腔室中进行的，而形成栅极绝缘层或者钝化保护层则会产生氮化硅，氧化硅等粉尘以及硅烷、磷烷等有毒易燃气体，干泵在对CVD真空处理腔室抽真空的同时还会将制程尾气以及粉尘颗粒排出干泵外。

现有地，为了侦测干泵尾气管道的压力以及稀释制程尾气，会在干泵尾气管道的侧边面增加氮气吹扫管路，然而，在实际的使用过程中，氮气吹扫管路入口处的干泵尾气管道容易沉积粉尘，这样容易导致干泵尾气管道堵塞，进而造成机器设备故障，影响机台生产。

鉴于上述问题，有必要提供一种新的干泵尾气管道来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种干泵尾气管道，其可有效解决尾气排放过程中造成的管道堵塞问题。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种干泵尾气管道，包括：管体，所述管体外侧壁设有进气口，用于输入吹扫气体，所述管体内部与所述进气口相对应的位置设置有与所述进气口相连通的环形通道，所述环形通道上设有排气孔或者排气狭缝。

进一步地，所述环形通道凸出地设置在所述管体的内侧壁上。

进一步地，所述排气孔或者排气狭缝设置在该环形通道的与管体轴向方向相垂直的端面上。

进一步地，所述排气孔或者排气狭缝所排出气体的气流方向与该管体内气体流动方向一致。

进一步地，所述排气孔的个数为多个，且均匀地设置在所述环形通道的与管体轴向方向相垂直的端面上。

优选地，所述排气狭缝环形设置在环形通道的与管体轴向方向相垂直的端面的中间位置。

优选地，所述排气孔直径的取值范围为大于等于0.23mm小于等于0.24mm，所述排气狭缝的宽度的取值范围为大于等于0.23mm小于等于0.24mm。

进一步地，所述管体和所述环形通道一体成型。

进一步地，所述管体和所述环形通道为不锈钢材质。

优选地，所述吹扫气体为氮气。

本实用新型的有益效果在于，本实用新型通过在管体内部与进气口相对应的位置设置有与进气口相连通的环形通道，并且在环形通道的与管体轴向方向相垂直的端面上设有排气孔或者排气狭缝，排气孔或者排气狭缝排出气流的方向与管体内气体流动方向一致，当以一定的气流速度通过进气口将吹扫气体通入环形通道时，由于环形通道端面排气孔或者排气狭缝气体出口面积很小，从而吹扫气体气流速度急剧增大，根据伯努利原理可知，管体内部的环形通道的前端区域由于气流速度增大形成低压区，从而有利于管体内部的气体带动粉尘在管体内气体压强低的区域流动，从而解决现有的在进气口附近，管体内部粉尘沉积，造成干泵尾气管道堵塞的问题，从而减少设备出现故障的几率，有利于生产。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的干泵尾气管道的剖面图；

图2是图1中包含环形通道的干泵尾气管道的局部剖面放大图；

图3是本实用新型另一实施例提供的干泵尾气管道的剖面图；

图4是图3中包含环形通道的干泵尾气管道的局部剖面放大图；

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本实用新型的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

图1是本实用新型一实施例提供的干泵尾气管道的剖面图，图2是图1中包含环形通道的干泵尾气管道的局部剖面放大图；如图1和图2所示，本实用新型一实施例提供的干泵尾气管道10包括管体11，该管体11的外侧壁设有进气口12，该进气口12用于输入吹扫气体，进一步地，该管体11内部与进气口12相对应的位置处设有与进气口12相连通的环形通道13，环形通道上设有排气孔14。

进一步地，该环形通道13凸出设置在该管体11的内侧壁上。

进一步地，该排气孔14设置在该环形通道13的与管体11轴向方向相垂直的端面上。