[实用新型]一种声表面波电流传感器有效
| 申请号： | 201720132049.1 | 申请日： | 2017-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN206523553U | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 仝杰;汪洋;张薇;雷煜卿;丁慧霞;吴赛 | 申请（专利权）人： | 中国电力科学研究院;国网浙江省电力公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京工信联合知识产权代理有限公司11266 | 代理人： | 郭一斐 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 电流传感器 | ||
1.一种结合磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，包括压电基片、置于压电基片表面的第一延迟线和第二延迟线、以及分布于第一延迟线和第二延迟线两端的吸声胶，其特征在于，第一延迟线包括两个叉指换能器，并且两个叉指换能器之间分布有磁致伸缩薄膜。
2.根据权利要求1所述的结合磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，其特征在于，第一延迟线和第二延迟线为平行设置。
3.根据权利要求2所述的结合磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，其特征在于，第一延迟线和第二延迟线具有相同结构。
4.根据权利要求1所述的结合磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，其特征在于，压电基片为切割方向与传播方向不同的LiNbO3压电基片。
5.根据权利要求1所述的结合磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，其特征在于，第一延迟线和第二延迟线中的叉指换能器电极采用铝材料。
6.根据权利要求1所述的结合磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，其特征在于，第一延迟线和第二延迟线中的叉指换能器采用EWC/SPUDT结构，在叉指对之间设置反射电极。
7.根据权利要求6所述的结合磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，其特征在于，第一延迟线的第一叉指换能器和第二延迟线的第二叉指换能器中的反射电极、与第一延迟线的第二叉指换能器和第二延迟线的第一叉指换能器中的反射电极相对于叉指对相对设置。
8.根据权利要求1所述的结合磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，其特征在于，第一延迟线和第二延迟线均采用控制电极宽度的单向单相换能器结构。
9.根据权利要求1所述的结合磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，其特征在于，第一延迟线的第一叉指换能器和第二延迟线的第二叉指换能器采用梳状结构。
10.根据权利要求1所述的结合磁致伸缩效应的声表面波电流传感器，其特征在于，在两叉指换能器之间分布的磁致伸缩薄膜的膜厚为450nm-550nm。
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