[实用新型]一种用于电子探针试样的水平定位台装置

说明书

技术领域

本实用新型属于实验设备制造技术领域，特别涉及一种用于电子探针试样的水平定位台装置。

背景技术

电子探针(EPMA)是非常先进的元素定性和定量分析设备，对待测试样进行电子探针分析时，试样表面一般会进行研磨、抛光，或者浸蚀处理，然后将试样用螺丝拧紧固定在样品座内。试样固定时，其分析面是要求保持水平的，这样才能确保电子探针的面扫描分析、线扫描分析或者定量点分析数据的准确性。

但是，有些情况下，试样分析面很难固定呈水平状态，例如：1)试样分析面虽切割平整，但底面却切割粗糙、加工不当呈倾斜不平状态；2)底面平整，但试样分析面经切割不当而呈倾斜状态，这种倾斜状态在后续的磨制或抛光过程中难以修正；3)经镶嵌后的试样，由于镶样粉易被磨削，在手工磨制过程中分析面较难掌控，易出现倾斜不平的状况；4)在用螺丝拧紧试样时，有时各个螺丝点施力不均，试样可能出现一定程度的倾斜。若对倾斜的试样面进行电子探针分析，尤其是面扫描及线扫描时，就会由于各个分析点的聚焦点差异较大，导致出现不准确的X射线强度计数，造成分析结果有误。

对于电子探针试样在切割加工、磨抛制备过程中造成试样倾斜不平的情况，若将试样返回重新加工制备，则会耗费额外的精力，延迟分析时间；对于螺丝固定不当引起的试样面倾斜，有时花费较长的时间去尽量调整，却并不能得到满意的效果。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于电子探针试样的水平定位台装置，解决了试样加工、制备及固定不当造成试样面倾斜的问题。实现了确保电子探针分析的可靠性。

一种用于电子探针试样的水平定位台装置，包括：水平定位台1、样品座2、长方形样品3及圆柱形样品4；水平定位台1上倒放置样品座2，长方形样品3及圆柱形样品4分析面均朝下与水平定位台1相接，长方形样品3及圆柱形样品4通过螺丝与样品座2固定。水平定位台1台面上有凸出的长方形槽和凹进的圆形孔，长方形槽两端有长方体柱。

水平定位台1尺寸为：长度330～400mm，宽度100～150mm，高度20～40mm，台面平整。

水平定位台1台面上加工有凸出的长方形槽10个，长方形槽的凸出深度均相同，为5～15mm，宽度依次为5mm、7mm、10mm、13mm、16mm、18mm、20mm、23mm、25mm及28mm排列。槽两端长方体柱的尺寸为：长度20～30mm，宽度15～20mm，高度5～15mm。10个长方形槽上可悬空放置宽度或直径在30mm以下的块状和圆棒状试样。

水平定位台1台面上还加工有凹进的圆形孔10个，圆孔深度均为5～15mm，直径依次为5mm、7mm、10mm、13mm、16mm、18mm、20mm、23mm、25mm及28mm排列，适用于对试样边缘要求不高的圆棒状试样放置，包括镶嵌试样。

水平定位台1的材质为铜或不锈钢；

样品座2上有螺丝，用于固定样品。

该装置的工作原理为：首先，定位台的台面为水平面，即长方体柱和圆孔所在的平面均为水平面；然后，根据试样分析面的尺寸选择合适的槽或孔，使槽或孔的尺寸小于试样分析面2～3mm，将样品座及试样分析面朝下倒置在相应的槽或孔上；最后，一手稍向下用力压着试样和样品座，另一手拿着改锥拧紧样品座上的螺丝，将试样固定，这样在水平面上依靠重力的作用保证了试样分析面的水平。

将试样面倒置在合适的槽或孔上时，试样面绝大部分处在悬空区域，仅有少量边缘部分支撑在台面上，这对于不关注边缘区域的试样(包括镶嵌试样)来说，长方形槽和圆孔的设计可确保试样分析区域不受污染影响；对于关注边缘区域的块状和圆棒状试样，当置于长方形槽上时，试样面上宽度方向的两个边缘会接触台面，而长度方向的两个边缘处于悬空状态，所以试样固定时可将感兴趣的边缘置于悬空状态，可避免试样分析区域受到污染影响。因此，水平定位台上长方形槽和圆形孔的设计在确保试样分析区域不受污染影响的前提下，实现了试样分析面的水平固定。

本实用新型的优点在于：1)该装置操作简单，只需将平常正置固定试样的方式改为在水平定位台上倒置固定试样即可；2)依靠水平定位台，解决了试样加工、制备不当造成的试样面倾斜问题；3)倒置固定试样后，螺丝拧紧时由于重力的作用不易出现分析面倾斜不平的状况，这样保持水平状态的试样分析面确保了电子探针分析的可靠性。

附图说明

图1为水平定位台的二维正视图。

图2为水平定位台的二维左视图。

图3为水平定位台的二维俯视图。