[实用新型]一种表面等离激元增强型红外辐射器结构有效
申请号: | 201720126132.8 | 申请日: | 2017-02-13 |
公开(公告)号: | CN206654729U | 公开(公告)日: | 2017-11-21 |
发明(设计)人: | 张志东 | 申请(专利权)人: | 中北大学 |
主分类号: | B81B1/00 | 分类号: | B81B1/00 |
代理公司: | 太原科卫专利事务所(普通合伙)14100 | 代理人: | 朱源 |
地址: | 030051 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面 离激元 增强 红外 辐射器 结构 | ||
【权利要求书】:
1.一种表面等离激元增强型红外辐射器结构,其特征在于包括ITO基片(4)、在ITO基片(4)上沉积的带有孔洞阵列结构的金属薄膜层(2)、在孔洞中和金属薄膜层上沉积的电介质层(3)以及在电介质层上制备的圆盘状金属阵列结构(1),底层的金属薄膜层(2)、中层的电介质层(3)和顶层的圆盘状金属阵列结构(1)构成金属复合微纳结构。
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