[实用新型]一种封存孤立超细小簇的设备有效
申请号: | 201720118830.3 | 申请日: | 2017-02-09 |
公开(公告)号: | CN206901754U | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 王彩强;蔡日;简兴湛;王庆斌;揭毅;杨昀;黄辉;陈国辉;谢卓明;彭继中;孔广荣;宋翰彪 | 申请(专利权)人: | 广东电网有限责任公司云浮供电局;武汉欣泰宇电力电子科技有限公司 |
主分类号: | B82B3/00 | 分类号: | B82B3/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙)21241 | 代理人: | 屈芳 |
地址: | 527399 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 封存 孤立 细小 设备 | ||
1.一种封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,该设备包括:采用隔离阀分割的第一处理室与第二处理室,所述第一处理室用于沉积超细小簇,所述第二处理室通入CO2气体,所述第二处理室上设置一传送杆,所述传送杆通入第二处理室并可开通隔离阀通入至第一处理室内。
2.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述第一处理室上安装有真空管道用于连接真空泵,所述第一处理室内设置超粒子流枪对准所述第一处理室的样品台。
3.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述第二处理室上安装有真空管道用于连接真空泵,并设置CO2罐体通过阀门控制连接至第二处理室。
4.按照权利要求2所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,第一处理室的样品台为中空结构,内通入液氮。
5.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述第二处理室内设置冷却台,所述冷却台为中空结构,内通入液氮。
6.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述传送杆的端部为样品托架。
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