[实用新型]一种封存孤立超细小簇的设备有效

专利信息
申请号: 201720118830.3 申请日: 2017-02-09
公开(公告)号: CN206901754U 公开(公告)日: 2018-01-19
发明(设计)人: 王彩强;蔡日;简兴湛;王庆斌;揭毅;杨昀;黄辉;陈国辉;谢卓明;彭继中;孔广荣;宋翰彪 申请(专利权)人: 广东电网有限责任公司云浮供电局;武汉欣泰宇电力电子科技有限公司
主分类号: B82B3/00 分类号: B82B3/00;B82Y40/00
代理公司: 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙)21241 代理人: 屈芳
地址: 527399 *** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 封存 孤立 细小 设备
【权利要求书】:

1.一种封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,该设备包括:采用隔离阀分割的第一处理室与第二处理室,所述第一处理室用于沉积超细小簇,所述第二处理室通入CO2气体,所述第二处理室上设置一传送杆,所述传送杆通入第二处理室并可开通隔离阀通入至第一处理室内。

2.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述第一处理室上安装有真空管道用于连接真空泵,所述第一处理室内设置超粒子流枪对准所述第一处理室的样品台。

3.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述第二处理室上安装有真空管道用于连接真空泵,并设置CO2罐体通过阀门控制连接至第二处理室。

4.按照权利要求2所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,第一处理室的样品台为中空结构,内通入液氮。

5.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述第二处理室内设置冷却台,所述冷却台为中空结构,内通入液氮。

6.按照权利要求1所述的封存孤立超细小簇的设备,其特征在于,所述传送杆的端部为样品托架。

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