[实用新型]一种用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置

权利要求书

1.一种用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置，其特征在于，采用上、下两层光路结构以及差分放大电路(11)，在上层光路上设置有激光器(1)、滤波镜片(2)及第1反光棱镜(4)，在下层光路上设置有第2反光棱镜(5)、衍射光栅(6)、第1反光镜(3)、第2反光镜(7)、立方体分光镜(8)、放大透镜(9)及光电探头阵列(10)，所述激光器(1)射出准直单色激光束经过滤波镜片(2)后形成单频激光束，被第1反光棱镜(4)反射后传给第2反光棱镜(5)，所述第2反光棱镜(5)把接收到的激光束水平反射给衍射光栅(6)，并保持对衍射光栅表面的垂直入射，衍射光栅(6)输出的+1级衍射光和－1级衍射光经第1反光镜(3)和第2反光镜(7)反射后在立方体分光镜(8)中会合，发生干涉后输出，经过放大透镜(9)的放大照射在光电探头阵列(10)上，光电探头阵列(10)的四象限探测器A、B、C及D输出四路光电转换信号，输出给所述差分放大电路(11)处理，输出用于表示衍射光栅(6)线性位移量的两路位移信号。

2.根据权利要求1所述用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置，其特征在于，所述衍射光栅(6)的入射激光束垂直于衍射光栅(6)的表面。

3.根据权利要求1所述用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置，其特征在于，所述第1反光棱镜(4)和第2反光棱镜(5)均采用直角棱镜。

4.根据权利要求1所述用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置，其特征在于，所述立方体分光镜(8)采用非偏振型立方体分光镜或者普通立方体分光镜。

5.根据权利要求1-4中任何一项所述用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置，其特征在于，所述光电探头阵列(10)采用一种IC型微小光电探头阵列，且该阵列至少包含一组四象限探测器A、B、C及D。

6.根据权利要求5所述用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置，其特征在于，所述激光器(1)射出的单色激光束是红外激光、红激光、绿激光、蓝激光或紫激光。

7.根据权利要求5所述用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置，其特征在于，所述衍射光栅(6)的线性位移，来自一维平面衍射光栅或二维平面衍射光栅产生的线性位移。

8.根据权利要求5所述用于衍射光栅位移测量系统的干涉测量装置，其特征在于，所述衍射光栅(6)的线性位移，来自柱面衍射光栅及球面衍射光栅回转而产生的等效线性位移。