[实用新型]一种耦合的多晶硅生产系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏领域，更具体的，涉及多晶硅生产系统。

背景技术

现有电子级多晶硅生产大部分采用改良西门子法，在现有商业化生产装置中，多采用热氢化装置作为整个系统中氢化工序的组成部分。因为还原、尾气回收、热氢化和精馏组成的系统并不能形成闭路循环，需要在生产过程中向系统内补充TCS或STC原料，并排出氯化氢作为副产物。同时，在这类系统中，精馏部分通常较为简单，对于杂质的提纯能力不强，这就要求补充的TCS或STC原料达到电子级的标准，或者需要采用多级精馏或其他方式对本系统中物料进行提纯，这又造成装置投资和运行成本上升。并且即使采用多级的精馏系统，也常常无法达到满足电子级多晶硅生产的需求。以上现有方法，对原料采购提出的较高的标准，对于成本控制造成不利影响，并且也造成了质量控制的风险。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种太阳能级多晶硅生产系统与电子级多晶硅生产系统耦合的多晶硅生产系统，通过太阳能级多晶硅生产系统中的精馏工段能够提供纯度较高的TCS，将其作为原料补充进入电子级多晶硅生产系统，以降低电子级多晶硅的生产成本，并减少质量风险。

为解决上述技术问题，本实用新型采取的技术方案是：

一种耦合的多晶硅生产系统，包含太阳能级多晶硅生产系统和电子级多晶硅生产系统，所述太阳能级多晶硅生产系统包括按以下方向顺序连接形成第一回路的第一精馏装置1、太阳能级还原装置2、第一尾气回收装置3和冷氢化装置4，所述电子级多晶硅生产系统包括按以下方向顺序连接形成第二回路的热氢化装置5、热氢化尾气分离装置6、第二精馏装置7、电子级还原装置8、第二尾气回收装置9、第三精馏装置10；所述太阳能级多晶硅生产系统中的第一精馏装置1连接到电子级多晶硅生产系统的第二精馏装置7，所述电子级多晶硅生产系统的热氢化尾气分离装置6连接到太阳能级多晶硅生产系统中的冷氢化装置4。

优选的，所述电子级多晶硅生产系统的第二尾气回收装置9连接到太阳能级多晶硅生产系统中的冷氢化装置4，所述电子级多晶硅生产系统的第三精馏装置10连接到太阳能级多晶硅生产系统中的太阳能级还原装置2。

优选的，电子级多晶硅生产系统中，所述第二尾气回收装置9连接回电子级还原装置8，形成第三回路；所述第三精馏装置10连接回和第二精馏装置7，形成第四回路；所述第二精馏装置7连接到热氢化装置5，所述热氢化尾气分离装置6连接回热氢化装置5，形成第五回路；所述冷氢化装置4连接回第一精馏装置1形成第六回路；太阳能级多晶硅生产系统中，所述第一尾气回收装置3连接回太阳能级还原装置2形成第七回路。

其中所述第二尾气回收装置9中包含深冷设备901、吸收塔902、解吸塔903、吸附塔904。

所述深冷设备901中部一侧设有进料口90101，中部另一侧设有气相出料口90102，底部设有液相出料口90103；

所述吸收塔902具有位于塔身侧壁靠下位置的第一进料口90201、位于塔身侧壁靠上位置的第二进料口90202、位于塔顶的第一出料口90203、位于塔底的第二出料口 90204；

所述解吸塔903具有位于塔身侧壁中部位置的第三进料口90301和位于塔身侧壁靠上位置的第四进料口90302、位于塔顶的第三出料口90303、位于塔底的第四出料口 90304；

所述吸附塔904底部设有气体入口管90401，顶部设有气体出口管90402；

所述气相出料口90102通过第一管道905连接第一进料口90201所述第二进料口 90202通过第二管道906和所述第四出料口90304相连；所述第一出料口90203通过第三管道907连接气体入口管90401，所述第二出料口90204通过第四管道908与第三进料口相连90301；所述液相出料口90103通过第五管道909接入第四管道908；

所述第三出料口90303通过第六管道910顺序连接塔顶换热器911、塔顶回流罐912、回流气动阀913和第四进料口90302，所述第六管道910在塔顶回流罐912和回流气动阀913之间第七管道914。

优选的，所述第二尾气回收装置9中还包含尾气吸收控制系统，所述尾气吸收控制系统包含：第一在线色谱仪915；第二在线色谱仪916；DCS控制系统917；