[实用新型]光学加工系统

权利要求书

1.一种光学加工系统，其特征在于，包括沿光路方向依次设置的照明光源、空间光调制器、微透镜阵列和成像透镜，所述空间光调制器位于所述微透镜阵列的前焦面，所述成像透镜的前焦面与所述微透镜阵列的后焦面重合，所述空间光调制器为振幅型，具有二维分布的多个图块，所述微透镜阵列包括分布于同一平面内的多个微透镜，每个所述微透镜分别在主光轴方向上与一个所述图块对应。

2.根据权利要求1所述的光学加工系统，其特征在于：每个所述图块由单个或者多个像素组成，每个像素可独立设置为开启或关闭。

3.根据权利要求1所述的光学加工系统，其特征在于：所述成像透镜为物方远心成像镜头，其像方数值孔径大于等于0.3。

4.根据权利要求1所述的光学加工系统，其特征在于：光路方向上还设置有前级镜组，该前级镜组设置于所述空间光调制器和微透镜阵列之间，所述前级镜组包括沿光路方向设置的第一透镜和第二透镜。

5.根据权利要求1或4所述的光学加工系统，其特征在于：光路方向上还设置有中继镜组，该中继镜组设置于微透镜阵列和成像透镜之间，所述中继镜组包括沿光路方向上依次设置的第三透镜、第一半透半反分光反射镜和第四透镜。

6.根据权利要求5所述的光学加工系统，其特征在于：还包括聚焦检测光路，该聚焦检测光路包括光电探测器、第五透镜、第六透镜、检测光源和第二半透半反分光反射镜，所述光电探测器位于第五透镜焦面，第五透镜的焦点和成像透镜的焦点处于共轭位置，检测光源发出平行光，经过第二半透半反分光反射镜、第六透镜、第一半透半反分光反射镜、第四透镜和成像透镜到达加工工件表面。

7.根据权利要求4所述的光学加工系统，其特征在于：还包括第七透镜和切换装置，在第一状态，所述切换装置带动前级镜组和微透镜阵列整体移动至空间光调制器和成像透镜之间的光路，在第二状态，所述切换装置带动所述第七透镜移动至空间光调制器和成像透镜之间的光路，同时将前级镜组和微透镜阵列整体移出。