[实用新型]表面喷砂处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种表面处理装置，特别是涉及一种表面喷砂处理装置，属于表面喷砂处理装置技术领域。

背景技术

MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术，以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长原材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。而MOCVD中圈加热丝对于薄层单晶材料的质量具有重要的影响，因此，需要在使用前对中圈加热丝进行表面喷砂处理。现有的表面处理装置直接将砂子导入喷砂机中进行喷砂处理，由于砂子颗粒大小不均匀，造成中圈加热丝的表面粗糙度不均匀，进而影响到薄层单晶材料的质量；而且，往往无法对废砂进行合理有效地回收处理利用，生产效率低、成本高。

发明内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种表面喷砂处理装置，该装置能够实现利用颗粒均匀的砂子对中圈加热丝进行表面处理，且能够对废砂进行回收循环利用，既能提高中圈加热丝的表面质量，又能提高生产效率、节省人力及降低成本。

为了达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种表面喷砂处理装置，包括真空吸砂机、振动筛、储砂箱一、空气压缩机一、储砂箱二、空气压缩机二和喷砂机，所述的真空吸砂机的吸砂管进口置于砂堆内，真空吸砂机的储砂罐的出砂口置于振动筛上方，储砂罐的出砂口设有阀门一；所述的振动筛倾斜地设有粗、细两层筛网，细筛网下端设有出料口二，出料口二端部置于储砂箱一上方，出料口二端部设有阀门二；所述的储砂箱一与空气压缩机一连通，储砂箱一通过底部的上砂管与喷砂机内的喷砂枪连通；所述的储砂箱二放置于喷砂机出砂口的下方、其与空气压缩机二连通，储砂箱二通过底部的回砂管与储砂罐连通；所述的喷砂机的出砂口处设有阀门三；

进一步的，所述的振动筛细筛网的下方放置有废砂箱；

进一步的，所述的振动筛粗筛网的下端设有螺旋式的出料口一，出料口一端部置于废砂箱上方；

进一步的，所述的阀门一、阀门二和阀门三为电磁阀；

进一步的，所述的储砂罐和喷砂机的下端为锥形，出砂口设在锥形的顶角处。

本实用新型通过真空吸砂机将砂堆中的砂子吸到储砂罐中，通过振动筛对储砂罐中流出的砂子进行筛分，滤除砂粒过大的砂子、杂质及砂粒过小的砂子、粉尘，保留粒度均匀的、可用于喷砂的砂子，通过空气压缩机一将筛分出的、符合使用要求的砂子输入到喷砂机内的喷砂枪中进行喷砂，实现了利用颗粒均匀的砂子对MOCVD中圈加热丝表面进行处理；通过空气压缩机二将喷砂后落下的砂子输入到储砂罐中进行循环利用。本实用新型既实现了提高中圈加热丝的表面质量，又实现了砂子的循环利用；有效地提高了生产效率，并节省人力、降低成本、保护环境。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1、吸砂管，2、储砂罐，3、阀门一，4、振动筛，5、废砂箱，6、出料口一，7、出料口二，8、阀门二，9、储砂箱一，10、上砂管，11、空气压缩机一，12、回砂管，13、储砂箱二，14、空气压缩机二，15、阀门三，16、喷砂机。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。