[实用新型]基于复合波导光栅的光学生物传感器有效
| 申请号： | 201720072851.6 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN206470188U | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 路海;黄蒙;李丽君;夏世强;刘孝宇;张现周 | 申请（专利权）人： | 河南师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 新乡市平原专利有限责任公司41107 | 代理人： | 于兆惠 |
| 地址： | 453007 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 复合 波导 光栅 光学 生物 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.基于复合波导光栅的光学生物传感器，包括复合波导光栅，其特征在于：所述复合波导光栅的基底材料二氧化硅上生长有一层硅薄膜，该硅薄膜的横向正中部位刻蚀有宽度为fb且纵向长度与硅薄膜纵向长度一致的B区域，B区域的两侧分别均匀等间距fa刻蚀有多个宽度为fc且纵向长度与硅薄膜纵向长度一致的C区域，其中fa+fb+fa+fc＝1μm。
2.根据权利要求1所述的基于复合波导光栅的光学生物传感器，其特征在于：相邻的C区域及相邻的B区域与C区域之间的间距fa＝0.35μm，B区域的宽度fb＝0.148μm，C区域的宽度fc＝0.152μm。
3.根据权利要求1所述的基于复合波导光栅的光学生物传感器，其特征在于：所述基底材料二氧化硅的折射率n2＝1.48。
4.根据权利要求1所述的基于复合波导光栅的光学生物传感器，其特征在于：所述硅薄膜的折射率n1＝3.48。
5.根据权利要求1所述的基于复合波导光栅的光学生物传感器，其特征在于：所述复合波导光栅的厚度为da＝0.16μm。
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