[实用新型]一种曝光能量均匀性标定结构有效

专利信息
申请号: 201720071974.8 申请日: 2017-01-20
公开(公告)号: CN206557527U 公开(公告)日: 2017-10-13
发明(设计)人: 蔡志国;龚田;胥涛棚;周黎;李小明 申请(专利权)人: 湖北凯昌光电科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙)44309 代理人: 廉红果
地址: 432900 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 曝光 能量 均匀 标定 结构
【说明书】:

技术领域

实用新型属于光学设备技术领域,具体涉及一种曝光能量均匀性标定结构。

背景技术

目前市场上能量标定时,多采用毛玻璃来降低激光能量,以避免能量太强对测量光电池有损害,但毛玻璃在激光长时间照射后对光能的阻挡效率会发生变化,导致测量结果随时间推移而变化,无法精确评价曝光能量的实时情况。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种曝光能量均匀性标定结构,用带有小孔的机加件代替了毛玻璃来阻挡激光,解决了毛玻璃在激光长时间照射后对光能的阻挡效率发生变化进而影响曝光能量精确度的问题。

本实用新型所采用的技术方案是:

本实用新型提供一种曝光能量均匀性标定结构,其包括带有小孔的机加件以及光电池,所述光电池设置在机加件远离小孔的一侧。

本实用新型的特点还在于,

所述小孔的孔径大小为0.5~2.0mm。

所述机加件密封不透光。

所述机加件的顶部与曝光面处于同一平面。

所述带有小孔的机加件以及光电池均设置在平台上,通过移动平台使小孔在曝光面区域内移动。

与现有技术相比,使用时,用带有小孔的机加件代替毛玻璃来阻挡激光,随着时间推移没有光损现象发生,保证了对激光的阻挡效率,使标定结果不会随时间变化。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供一种曝光能量均匀性标定结构的结构示意图;

图2是本实用新型实施例提供一种曝光能量均匀性标定结构的光传播示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

本实用新型实施例提供一种曝光能量均匀性标定结构,如图1及图2所示,其包括带有小孔的机加件1以及光电池2,所述光电池2设置在机加件1远离小孔的一侧,这样,用带有小孔的机加件来阻挡激光,随着时间推移没有光损现象发生,保证了对激光的阻挡效率,使标定结果不会随时间变化。

所述小孔的孔径大小为0.5~2.0mm,这样,通过调整孔径大小可以控制通过的激光能量。

所述机加件1密封不透光,这样,不会产生光损现象。

所述机加件1的顶部与曝光面处于同一平面,所述带有小孔的机加件1以及光电池2均设置在平台上,这样,通过移动平台使小孔在曝光面区域移动,可以精确的监测曝光面每一个点的能量情况。

本实用新型的工作过程为:将该标定结构安装在平台上,使机加件1的顶部与曝光面处于同一平面,通过移动平台使小孔处于曝光面区域内,在曝光面会聚的激光经过小孔后会发散,单位面积的能量会降低,将对光电池2的损害降到最低,同时通过调整孔径大小可以控制通过的激光能量,而机加件1也不会随时间推移而变化,通过移动平台使小孔在曝光面区域移动,可以非常精确的监测曝光面每一个点的能量情况。

光照射到光电池上,感应器会产生电流,通过测量电流值换算出对应的功率值,从而得到曝光能量值。

采用上述方案,与现有技术相比,使用时,用带有小孔的机加件代替毛玻璃来阻挡激光,随着时间推移没有光损现象发生,保证了对激光的阻挡效率,使标定结果不会随时间变化。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北凯昌光电科技有限公司,未经湖北凯昌光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720071974.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top