[实用新型]具有物理溯源性的相位发生装置

权利要求书

1.一种具有物理溯源性的相位发生装置，其特征在于，包括：

信号产生单元，包括锁相环、与所述锁相环相连的两个放大器、与其中一个放大器相连的混频器以及与所述混频器相连的放大子单元；所述信号产生单元用于产生频率为f₁的第一信号以及频率为f₂的第二信号；还用于产生频率为f₃的第三信号，且f₃为f₁与f₂的差值绝对值；

激光调制单元，与所述信号产生单元中未与所述混频器相连的放大器相连；所述激光调制单元用于将所述第一信号调制到激光信号中；

延时调整单元，包括发射模块、目标板以及光电转换器；其中，所述发射模块与所述激光调制单元相连，所述光电转换器与所述信号产生单元中的混频器相连；所述延时调整单元用于将调制后的激光信号经由预设传输路径延时后转换为第四信号；其中，所述预设传输路径的距离根据预设相位差计算获得；

所述信号产生单元还用于将所述第四信号与所述第二信号进行混频，得到频率为f₃的第五信号；

相位差单元，与所述信号产生单元中的放大子单元相连，用于将所述第三信号与所述第五信号进行对比得到相位差。

2.根据权利要求1所述具有物理溯源性的相位发生装置，其特征在于，所述第三信号由所述第一信号与所述第二信号混频产生，或与所述第一信号或第二信号同时产生。

3.根据权利要求1所述具有物理溯源性的相位发生装置，其特征在于，还包括计算单元，所述预设传输路径的距离包括第一距离与第二距离中的至少一项，所述计算单元用于：

计算所述调制后的激光信号的波长λ，λ＝c/f₁，c为光速；

计算所述调制后的激光信号的单位传输距离对应的相位差变化k，k＝360/λ；

计算所述第二距离D，其中为预设相位差。

4.根据权利要求1或3所述具有物理溯源性的相位发生装置，其特征在于，所述延时调整单元包括发射模块、目标板以及光电转换器；其中，

所述发射模块，用于将所述调制后的激光信号发射至所述目标板；

所述目标板，用于反射所述调制后的激光信号至所述光电转换器；

所述光电转换器，用于将所述调制后的激光信号转换为第四信号。

5.根据权利要求4所述具有物理溯源性的相位发生装置，其特征在于，还包括传动单元，所述传动单元包括：

高精度螺杆，与所述目标板固定连接，用于根据所述预设传输路径的距离调整目标板的位置。

6.根据权利要求5所述具有物理溯源性的相位发生装置，其特征在于，所述传动单元还包括伺服模组，与所述高精度螺杆相连，用于获取所述预设传输路径的距离并据此控制所述高精度螺杆的传动。