[实用新型]一种干涉仪检测面型的零件支撑机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学零件的面型检测，具体涉及利用干涉仪进行面型检测的零件支撑结构。

背景技术

干涉仪是以已知激光波长为基准，通过迈克耳逊干涉系统测量位移量的仪器，光学零件的检测常常使用干涉仪对光学元件进行面型检测，通常的干涉仪面型检测分为立式和卧式两类，卧式干涉仪虽然可以依托气垫平台延长测量范围，但轨道高度一般不超过180毫米，因而不能完全覆盖检测零件的整个面型，未能检测到的部分需要板测量和目测估算，这样造成的结果误差较大且样板有损伤所述零件的风险。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是针对上述卧式干涉仪检测零件面型不能完全覆盖的问题，提出一种干涉仪检测面型的零件支撑机构，包括台架、支撑架、支撑臂、夹具，所述支撑架设置于所述台架上，所述支撑臂设置于所述支撑架上并与所述支撑架连接，所述夹具设置于所述支撑架上，用以固定所述零件，所述夹具下部与所述支撑架活动连接，所述夹具上部与所述支撑臂活动连接，通过调整所述夹具的位置及角度，实现所述零件的全面检测，操作简单且能够提高整体检测的精度。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：

一种干涉仪检测面型的零件支撑机构，包括台架、支撑架、支撑臂、夹具，所述支撑架设置于所述台架上，所述支撑臂设置于所述支撑架上并与所述支撑架连接，所述夹具设置于所述支撑架上，用以固定所述零件，所述夹具下部与所述支撑架活动连接，所述夹具上部与所述支撑臂活动连接。

所述夹具与所述支撑臂之间设置连杆，所述连杆一端与所述夹具活动连接，另一端与所述支撑臂活动连接，所述连杆上靠近所述支撑臂一端设置螺纹结构，所述支撑臂上设置与所述螺纹结构配合使用的螺纹孔。

所述夹具与所述支撑架之间设置旋转副，实现所述夹具相对所述支撑架上下旋转运动，并且所述夹具与所述支撑架之间设置旋转副，实现所述夹具相对所述支撑架左右旋转运动，所述夹具为可拆卸结构，根据不同尺寸的零件替换不同尺寸的夹具。

所述支撑架与所述台架之间设置轨道，所述支撑架置于所述轨道上并沿所述轨道相对所述台架移动，所述轨道为双轨道结构，所述轨道与所述台架之间设置升降结构，实现所述轨道相对所述台架的升降运动。

本实用新型的有益效果为：

1.使用本实用新型干涉仪检测面型的零件支撑机构，双轨道结构，保证被检测零件的稳定性，提高检测精度；

2.使用本实用新型干涉仪检测面型的零件支撑机构，通过上下以及左右调整夹具的位置和方向，实现零件的全面检测，并且采用螺纹调整，提高调整精度；

3.使用本实用新型干涉仪检测面型的零件支撑机构，夹具为可拆卸结构，通过不同尺寸的夹具可以实现不同尺寸零件的检测，提高了机构的适应性。

附图说明

图1为传统干涉仪检测面型的零件支撑机构的结构示意图；

图2为本实用新型干涉仪检测面型的零件支撑机构的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型公开了一种干涉仪检测面型的零件支撑机构，本领域技术人员可以借鉴本文内容，适当改进工艺参数实现。需要特别指出的是，所有类似的替换和改动对本领域技术人员来说是显而易见的，它们都被视为包括在本实用新型，并且相关人员明显能在不脱离本实用新型内容、精神和范围的基础上对本文所述内容进行改动或适当变更与组合，来实现和应用本实用新型技术。

在本实用新型中，除非另有说明，否则本文中使用的科学和技术名词具有本领域技术人员所通常理解的含义。

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

图1为传统的干涉仪检测面型的零件支撑机构，包括台架1、干涉仪2、支撑架3、轨道4、夹具5、零件6，所述干涉仪2、轨道4置于所述台架1上，所述支撑架3置于所述轨道4上，所述夹具5置于所述支撑架3上，所述零件6置于所述夹具5上，由于上述零件支撑机构不能调整所述零件6或所述干涉仪2的位置及角度，因而只能够实现所述零件6的部分面型检测，无法全面检测所述零件6的面型，未能通过所述干涉仪2检测的部分需要样板测量和目测估算，这样造成的结果误差较大且样板有损伤所述零件6的风险。

为了解决传统干涉仪检测面型的上述问题，本实用新型提出了一种干涉仪检测面型的零件支撑机构，具体结构如下：