[实用新型]溅镀旋转靶旋转机构总成有效
| 申请号： | 201720048272.8 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN206502855U | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 霍凯;陈宥廷 | 申请（专利权）人： | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转 机构 总成 | ||
【权利要求书】：
1.溅镀旋转靶旋转机构总成，其特征在于：包括外壳，所述外壳内部设有旋转机构，所述旋转机构包括旋转轴总成和与之连接的时规皮带，所述旋转轴总成内部安装有定轴总成，所述旋转轴总成前后两端连接有油封组，所述旋转轴总成前段安装有连接法兰盘。
2.根据权利要求1所述的溅镀旋转靶旋转机构总成，其特征在于：所述旋转轴总成与外壳之间还设有密封圈。
3.根据权利要求1所述的溅镀旋转靶旋转机构总成，其特征在于：所述外壳上设有水路导管。
4.根据权利要求1所述的溅镀旋转靶旋转机构总成，其特征在于：所述定轴总成安装于旋转轴总成的中心内部。
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