[实用新型]真空密封转轴套总成

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空密封转轴套总成。

背景技术

溅镀行业里在每一真空腔体间隔时会使用闸门做区隔,闸门在腔体里以旋转90的方式做开关动作,然而要使旋转时需与外部气压缸或马达做连接,以往连接时都以磁性流体做连接,以磁性流体锁固在腔体上做连接时使用一段时间易产生间连接的隙件,且不易后续维修。

因此，需要寻求一种新的技术方案来解决上述问题。

发明内容

本实用新型的目的是：提供真空密封转轴套总成。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

真空密封转轴套总成，真空密封转轴套总成本体包括外壳，外壳内部设有经过加工的安装槽，安装槽内对称的设有两组密封转轴套总成，转轴套总成包括安装于安装槽内的TC油封，TC油封后端设有C型卡扣，TC油封前端设有轴承，轴承前端设有O型密封圈。

在上述技术方案中，TC油封与O型密封圈主要作用为包覆旋转轴芯行程气密，而轴承主要为旋转轴芯提供支撑和旋转作用，C型卡扣则是起到固定TC油封和轴承的作用，防止脱落；外壳中的安装槽设计，安装槽中设置有O行密封圈、TC油封以及轴承的排列设计方式可以达到高真空所需的气密度要求以及保证运转中不会有泄露情况的发生。

外壳由不锈钢制成。

真空密封转轴套总成本体的外壳的外表面呈T型，包括前端的直筒型外壳和后端的向外延长台阶外壳，向外延长台阶外壳固定于真空腔体上，真空腔体内设有旋转轴芯和闸门，旋转轴芯延伸出真空腔体外并与真空密封轴套总成连接。

溅镀行业里为确保真空腔体中每一个腔体有不同的需求不受相互影响，会在每一个真空腔体的间隔中使用闸门作为区隔，闸门在真空腔里以旋转90°的方式做开关动作，然而要使其旋转时需要与外部气压缸或马达座连接，在做连接时需要将旋转轴芯延伸是真空腔体外，再以真空密封转轴套总成作为气密与支撑旋转轴芯的重要组件，保证旋转轴芯在旋转的同时已有良好的气密和支撑区保证真空腔体内的负压不受真空腔外部因素的影响其制程稳定。

在上述技术方案中，跟现有技术相比所达到的技术效果是：气密性好，制造、维护成本低、且易于维修和保养。

附图说明

附图1为本实用新型实施例一的主视图。

附图2为本实用新型实施例一的真空腔体的主视图。

以上附图中：1-外壳、2-C型卡扣、3-TC油封、4-轴承、5-O型密封圈、6-安装槽、7-真空腔体、8-旋转轴芯、9-闸门。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述。

实施例一：

如图1和图2所示，本实用新型的真空密封转轴套总成，真空密封转轴套总成本体包括外壳1，外壳1内部设有经过加工的安装槽6，安装槽6内对称的设有两组密封转轴套总成，转轴套总成包括安装于安装槽6内的TC油封3，TC油封3后端设有C型卡扣2，TC油封3前端设有轴承4，轴承4前端设有O型密封圈5。

在上述技术方案中，TC油封3与O型密封圈5主要作用为包覆旋转轴芯8行程气密，而轴承4主要为旋转轴芯8提供支撑和旋转作用，C型卡扣2则是起到固定TC油封3和轴承4的作用，防止脱落；外壳1中的安装槽6设计，安装槽6中设置有O行密封圈5、TC油封3以及轴承4的排列设计方式可以达到高真空所需的气密度要求以及保证运转中不会有泄露情况的发生。

外壳1由不锈钢制成。

真空密封转轴套总成本体的外壳1的外表面呈T型，包括前端的直筒型外壳和后端的向外延长台阶外壳，向外延长台阶外壳固定于真空腔体7上，真空腔体7内设有旋转轴芯8和闸门9，旋转轴芯8延伸出真空腔体7外并与真空密封轴套总成连接。

溅镀行业里为确保真空腔体7中每一个腔体有不同的需求不受相互影响，会在每一个真空腔体7的间隔中使用闸门9作为区隔，闸门9在真空腔里以旋转90°的方式做开关动作，然而要使其旋转时需要与外部气压缸或马达座连接，在做连接时需要将旋转轴芯8延伸是真空腔体7外，再以真空密封转轴套总成作为气密与支撑旋转轴芯8的重要组件，保证旋转轴芯8在旋转的同时已有良好的气密和支撑区保证真空腔体7内的负压不受真空腔外部因素的影响其制程稳定。

在上述技术方案中，跟现有技术相比所达到的技术效果是：气密性好，制造、维护成本低、且易于维修和保养。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。