[实用新型]一种电弧离子镀膜机引弧针装置

说明书

技术领域

本实用新型属于真空电弧离子镀膜领域，具体涉及一种位置连续可调的电弧靶引弧针固定装置。

背景技术

在电弧离子镀膜设备镀膜过程中，通过引弧针尖触碰靶材表面产生放电进行引弧。镀膜过程中，引弧针位置与靶材表面距离过近，引弧针针尖温度将不断升高，持续烧蚀的电弧会使针尖部分熔断，造成灭弧后镀膜工作无法继续进行；引弧针位置与靶材距离过远，弧针针尖与靶面不能接触，以致无法放电启弧。随着靶材的不断消耗，每次镀膜前引弧针的位置需要调整，使引弧过程中弧针针尖与靶面接触放电，顺利启弧且不会熔断弧针，由于靶材消耗程度难以度量，给每次整体拆卸引弧针，采取机械弯曲方法调整位置增加很大难度，浪费拆装时间。为提高工作效率，需要一种便于连续调节弧针位置的引弧针固定装置。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种便于调节弧针位置的引弧针固定装置，实现引弧针尖与电弧靶面距离的连续可调，节省了采用机械方法弯曲引弧针来调整针尖到靶面距离的时间，提高了工作效率。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案为：一种电弧离子镀膜设备的引弧针固定装置，包括一根定位杆和两根辅助固定的螺纹套管，所述定位杆身一端与电弧阴极引弧气缸的活塞相连，另一端旋入两根辅助定位的内螺纹套管，将引弧针柄部置于两固定套管中间位置的通槽内，并将两辅助套管拧紧，以固定引弧针。所述固定装置中的各零件通过一系列的机械配合，将引弧针固定在电弧阴极引弧气缸的活塞上，同时实现引弧针针尖到电弧靶面距离的连续调节，保证电弧靶的正常启弧。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，所述杆身与电弧阴极引弧气缸活塞相连的一端开有螺纹孔，通过与气缸活塞上外螺纹柱的螺旋配合，将杆身固定在引弧气缸活塞上。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，所述杆身上铣有与杆件轴向方向平行的通槽，引弧针针柄插入通槽，引弧针可在通槽内沿轴向移动，实现引弧针针尖与电弧靶面距离的连续调节。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，所述杆身开有通槽一端的杆段上攻有外螺纹，通过与辅助定位的螺纹套管的旋紧配合来固定引弧针的位置。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，所述杆身上没有外螺纹的光杆直径比有外螺纹杆段的直径小一些，使内螺纹套管的一部分可套在没有外螺纹的光杆上，以保护杆身上的外螺纹。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，所述两根辅助定位的内螺纹套管，其中一根为空心套管，与杆身上的螺纹配合先旋上杆身，另一根为半封闭套管，旋到定位杆的最外端，且套管封闭一端内有退刀槽，两根套杆的总长度略大于外螺纹杆身的总长度，保证在工作过程中杆身外螺纹上始终有套管的保护。

进一步作为本实用新型技术方案的改进，所述两根辅助定位的内螺纹套管的一端均铣有一对相互平行的小平面，以便扳手卡紧实现对两个螺纹套管的拧紧、拆卸。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过定位杆上的外螺纹与两根辅助定位的内螺纹套管之间的螺旋配合，以固定柄部放置于定位杆通槽内的引弧针，通过两根螺纹套管之间的旋动可以连续调节引弧针针尖与电弧靶面之间的距离，并且两根螺纹套管同时向彼此方向旋动可以夹紧引弧针，保证引弧针位置的固定。在多次镀膜后，随着靶材的消耗，可通过旋动两根螺纹套管来调整引弧针的位置，即引弧针针尖与靶面的需保持一定范围，太近易造成引弧针的熔断，太远无法进行放电启弧。本发明省去了反复拆装引弧针、采取机械方法弯曲引弧针来调整针尖与靶面距离的麻烦，大大节省了镀膜的准备时间，提高了工作效率和引弧针的使用寿命。并且两螺纹套管总长略大于定位杆上有外螺纹的杆段，防止由于外螺纹上沉积了涂层而破坏，延长了该装置的使用寿命。

本实用新型作为引弧针固定装置可适用于各种电弧离子镀膜设备上。

附图说明

图1是安装新靶后，本实用新型中该装置的结构示意图。

图2是靶材发生一定损耗后，本实用新型中该装置的结构示意图。

具体实施方式

下面通过实例对本实用新型作进一步详细说明。

实施例1