[实用新型]双层波纹管

说明书

技术领域

本实用新型属于真空腔室配件技术领域，具体涉及一种双层波纹管。

背景技术

真空腔室中使用的波纹管经常会因为制作缺陷，人为不小心碰撞及反复伸缩动作导致泄漏(Leak)的发生，即使只是很微小的泄漏，也会导致真空腔室的真空度发生剧烈性变化，导致腔室真空度下降，从而影响器件寿命。一般发生泄漏的位置十分隐蔽，且极其微小，无法实时发现，所以一旦发生泄漏，就只能停止生产，更换新的波纹管，重新开始生产，严重影响设备的生产能力。

因此，如何预防波纹管泄漏，以及提前发现泄漏成为是亟需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种双层波纹管，用以解决如何预防波纹管泄漏，以及提前发现泄漏的问题。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种(双层波纹管，包括相互连接的内波纹管和外波纹管，所述外波纹管为透明结构。

优选的是，所述内波纹管和所述外波纹管均包括第一端部、第二端部，以及位于第一端部和第二端部的波纹部；其中，所述内波纹管的第一端部与所述外波纹管的第一端部连接；所述内波纹管的第二端部与所述外波纹管的第二端部连接；且所述内波纹管的波纹部的伸缩系数大于所述外波纹管的波纹部的伸缩系数。

优选的是，所述内波纹管和所述外波纹管的材料相同。

进一步优选的是，所述内波纹管的第一端部与所述外波纹管的第一端部为一体成型结构；所述内波纹管的第二端部与所述外波纹管的第二端部为一体成型结构。进一步优选的是，所述内波纹管和所述外波纹管的材料包括真空塑料、橡胶、透明金属中的任意一种。

优选的是，所述内波纹管和所述外波纹管的材料不同。

进一步优选的是，所述外波纹管的材料包括真空塑料、橡胶、透明金属中的任意一种。

进一步优选的是，所述内波纹管的材料包括不锈钢、高密度聚乙烯。

进一步优选的是，所述外波纹管的波纹部的伸缩系数为0.4。

进一步优选的是，所述外波纹管的波纹部的伸缩系数为0.6。

本发明具有如下有益效果：

由于本发明中的外波纹管采用的是透明结构，因此当内波纹管发生泄漏时，可以透过外波纹管及时发现泄漏的位置，对波纹管进行替换。与此同时由于外波纹管的存在，也不会导致真空度突然变差，所以若不替换波纹管，该波纹管还是可以继续使用，直至外波纹管也发生泄漏，以此看来本发明中的双层波纹管具有更长的使用寿命，且易于观察发生泄漏的位置。

附图说明

图1为本实用新型的实施例1、2的双层波纹管的结构示意图。

其中附图标记为：1、内波纹管；2、外波纹管；11、内波纹管的第一端部；12、内波纹管的第二端部；13、内波纹管的波纹部；21、外波纹管的第一端部；22、外波纹管的第二端部；23、外波纹管的波纹部。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。

实施例1：

如图1所示，本实施例提供一种双层波纹管，包括相互连接的内波纹管1和外波纹管2，其中外波纹管2为透明结构。

本实施例中所提供的波纹管为双层波纹管，较现有技术中的单层波纹管而言具有更长的使用寿命。具体的，该双层波纹管使用过程中，一般来说，泄漏会先发生在内波纹管1上，随后才可能发生在外波纹管2上，而本实施例中的外波纹管2采用的是透明结构，因此当内波纹管1发生泄漏时，可以透过外波纹管2及时发现泄漏的位置，对波纹管进行替换。与此同时由于外波纹管2的存在，也不会导致真空度突然变差，所以若不替换波纹管，该波纹管还是可以继续使用，直至外波纹管2也发生泄漏，以此看来本实施例中的双层波纹管具有更长的使用寿命，且易于观察发生泄漏的位置。

实施例2：

本实施例提供一种双层波纹管，包括内波纹管1和透明结构的外波纹管2；其中，内波纹管1和外波纹管2均包括第一端部、第二端部，以及位于第一端部和第二端部的波纹部；其中，内波纹管的第一端部11与外波纹管的第一端部21连接；内波纹管的第二端部12与外波纹管的第二端部22连接；且内波纹管的波纹部13的伸缩系数大于外波纹管的波纹部23的伸缩系数。

本实施例中的伸缩系数是指，位于第一端部和第二端部之间的波纹部沿波纹管轴向的变形能力或者拉伸能力。