[实用新型]高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体处理领域，具体涉及液氨气瓶余气的的处理系统。

背景技术

高纯氨气广泛用于LED电子行业、薄膜太阳能电池制造行业。近几年，高纯氨气体行业得到了迅速发展。氨是强腐蚀性、有毒气体，大量吸入能引起心脏停搏和呼吸停止，危及生命，因氨气导致安全环保事故不断发生。

高纯氨气体使用钢瓶包装，钢瓶属于压力容器，必须定期的检验，作业前必须对瓶内的氨气进行有效处理。

同时，高纯氨气瓶自带的阀门属于易损配件，经常会出现瓶阀漏气现象，瓶阀更换前也要对高纯氨气瓶内的气进行有效的处理。

目前，行业上对高纯氨气瓶内余气的处理方式上，没有一个可靠的方法和装置。

如果采用直接排放方式进行，不仅造成一定的环境污染，对从业人员的生命安全也会造成威胁。同时，高纯氨产品附加值高，是一种非常贵重的电子工业用气体，直接排放也存在严重的浪费；再加上，直接排放过程中，当气瓶内的残气与大气压平衡后，瓶内仍存在大量的高纯氨气体，处理效果非常有限，极易引发不安全事故和环保事故。

如果采用往高纯氨气瓶内注水的方式来处理气瓶内的余气，处理过程极其危险，极易引发事故，同时氨气与水反应生成氨水，会对处理气瓶内壁产生一定的腐蚀作用，而且气瓶再次使用前，必须对瓶内的水份进行复杂的处理。

因此，急需一种灵活易用的处理系统能高效率、高质量的解决如上问题。

发明内容

发明目的：为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统。

技术方案：为解决上述技术问题，本实用新型提供的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，包括第一管路、第二管路、回收管路、检测管路和洗气管路，以及若干并列设置于第一管路和第二管路之间的相互独立的待处理瓶管路；

各待处理瓶管路均分别包括用于连接待处理瓶气相阀和第一管路的第三阀门，和用于连接待处理瓶液相阀和第二管路的第五阀门；

所述回收管路包括依次连接的第十阀门、压缩机、第三管路，以及若干并列设置于第三管路上的用于连接回收瓶的第十二阀门；

所述检测管路包括依次连接的第七阀门和氨气浓度测试仪；

所述洗气管路包括依次连接的第九阀门和多级吸收塔；

所述第二管路分别与检测管路、回收管路和洗气管路的入口连接。

优选的，所述第二管路上设有真空压力表。

优选的，所述第一管路与氮气入口连接。

进一步优选的，所述第一管路上还设有压力表。

作为优选的，所述第一管路上还设有压力表，第一管路通过第二阀门与氮气入口连接。

优选的，所述处理系统包括3个以上的待处理瓶管路。

同样作为优选的，所述处理系统包括3个以上的并列设置于第三管路上的用于连接回收瓶的第十二阀门。

进一步优选的，所述多级吸收塔包括依序连接的三级以上的吸收塔。

优选的，所述第二管路通过与检测管路的第七阀门连接实现与检测管路的入口连接，所述第二管路通过与回收管路的第十阀门连接实现与回收管路的入口连接，所述第二管路通过与洗气管路的第九阀门连接实现与洗气管路的入口连接。

有益效果：本实用新型提供的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，一方面可以对多个或全部待处理高纯氨气瓶内的余气同时进行批量回收，亦可根据作业需要灵活多变地挑选其中一个或几个高纯氨待处理气瓶及空瓶进行选择性回收或分时回收或分装；另一方面通过本系统可用惰性气体对待处理气瓶内的微量残余氨进行冲洗，并通过洗气管路对冲洗后的气体中的有害物质氨进行吸收处理，且吸收后的水溶液也可进一步回收利用；第三方面，本系统的检测管路安装有尾气检测装置，可对高纯氨气瓶回收和/或冲洗处理的效果进行检测，以进一步提高气瓶处理的有效性和安全性。第四方面，应用广泛，不仅可以用于对高纯氨气瓶内的余气进行回收处理，还可以用于洗瓶；进一步的，第五方面，还可通过第一管路与氮气入口连接，使用惰性气体吹扫待处理气瓶内微量残余氨气，不会产生腐蚀气瓶内壁的物质，能有效保护待处理气瓶的内壁，同时该气瓶再次使用前无须再对气瓶进行复杂处理(如瓶内水份处理等繁琐事宜)。

总体而言，本系统可实现全过程无排放处理，且使用方式灵活易用，兼容性高，不仅能有效提升高纯氨气瓶余气回收处理的效果，提高回收效率，具备较高的经济效益，而且避免了因直接排放处理或其他方式处理效果不佳而造成的环境和安全隐患问题，具有较高的实用性和可推广性。

附图说明

图1是实施例2的结构示意图。