[实用新型]一种镀膜机镀铬层修复装置

权利要求书

1.一种镀膜机镀铬层修复装置，其特征在于：包括真空室腔体（1）、靶材（2）和工件（3），所述真空室腔体（1）为圆柱体形，所述靶材（2）嵌入在真空室腔体（1）的周围的腔体壁上，所述工件（3）安装在真空室腔体（1）的底部中间凸起的底座位置，所述真空室腔体（1）的底部与真空室腔体（1）的侧壁之间为组合连接，所述在真空室腔体（1）上端设有气体流通口（4）。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀铬层修复装置，其特征在于：所述工件（3）安装在真空室腔体（1）底部中间凸起的底座的方式为螺纹安装方式或卡合式安装方式。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀铬层修复装置，其特征在于：所述真空室腔体（1）的底部与真空室腔体（1）的侧壁之间的组合连接方式为螺纹旋转连接或是卡合式连接。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀铬层修复装置，其特征在于：所述真空室腔体（1）底部四周设有密封圈，所述密封圈的制作材料为高分子纳米材料。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀铬层修复装置，其特征在于：所述靶材的制作材料为金属铬。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜机镀铬层修复装置，其特征在于：所述真空室腔体（1）的底部设有旋转装置。

7.根据权利要求1或2所述的一种镀膜机镀铬层修复装置，其特征在于：所述真空室腔体（1）的底部中间凸起的底座内部表面设有橡胶保护层。

8.根据权利要求1或2所述的一种镀膜机镀铬层修复装置，其特征在于：所述真空室腔体（1）的底部底座个数为1～6个。