[实用新型]一种单晶炉摄像机构安装支架结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉摄像机构安装支架结构。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并使用直拉法生长无错位单晶的设备。现有的单晶炉主要由提拉头、副室、炉盖、炉筒、下炉筒、底座机架、坩埚下传动装置和热场等组成。热场包括压环、保温盖、保温罩、石墨坩埚、石英坩埚、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、螺栓等。单晶炉一般采用成像方法获得直径反馈信号，现有的炉盖上开设有观察窗，利用摄像头通过观察窗直接采集晶棒图像。现有的单晶炉往往采用双摄像头，一个长焦镜头聚焦在液面中心，用于控制籽晶生长，一个短焦镜头聚焦在晶棒外缘，控制晶棒生长。现有的单晶炉摄像机构往往通过简单的支架直接固定在炉盖上，而唯一的观察窗面积又较小，随着设备使用时间摄像机角度极易发生偏转垂落，导致摄像机角度无法对准观察点。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶炉摄像机构安装支架结构，能够实现摄像机构多角度方位调整，保证摄像机构对准观察点以实时监控单晶生长状态；同时，本实用新型还具有模块化的特点，便于维护更换，同时适应于多种规格的观察窗。

本实用新型采用下述技术方案：

一种单晶炉摄像机构安装支架结构，包括炉体固定装置、左右移动装置、上下移动装置、前后移动装置、旋转调节装置和摄像机构；

所述的炉体固定装置与炉体观察窗可拆卸连接，炉体固定装置上设置有左右移动装置连接块，左右移动装置连接块上开设有左右移动装置卡槽；

所述的左右移动装置包括水平连接板，水平连接板的下表面设置有与左右移动装置卡槽相匹配的左右移动装置卡块；水平连接板的上表面沿水平连接板的左右方向设置有左右移动滑槽，左右移动滑槽内滑动连接有左右移动滑块，左右移动滑块由左右移动驱动电机驱动，左右移动驱动电机设置在水平连接板上；

所述的上下移动装置包括滑动连接的竖直连接板和前后移动装置连接板，竖直连接板的前侧表面沿竖直连接板的上下方向设置有上下移动滑槽，前后移动装置连接板的后侧表面设置有上下移动滑块，上下移动滑块设置在上下移动滑槽内，前后移动装置连接板由上下移动驱动电机驱动，上下移动驱动电机设置在竖直连接板上；前后移动装置连接板的下侧表面沿前后移动装置连接板的前后方向分别设置有第一前后移动装置滑槽和第二前后移动装置滑槽；

所述的前后移动装置包括第一前后移动装置和第二前后移动装置，第一前后移动装置包括第一倒U形移动框和第二倒U形移动框，第一倒U形移动框的顶板的上表面设置有第一倒U形移动框移动块，第一倒U形移动框移动块设置在第一前后移动装置滑槽内，第一倒U形移动框由第一前后移动驱动电机驱动，第一倒U形移动框的两个侧板中部开设有第一旋转调节装置转轴孔；第二倒U形移动框的顶板的上表面设置有第二倒U形移动框移动块，第二倒U形移动框移动块设置在第二前后移动装置滑槽内，第二倒U形移动框由第二前后移动驱动电机驱动，第二倒U形移动框的两个侧板中部开设有第二旋转调节装置转轴孔；第一前后移动驱动电机和第二前后移动驱动电机均设置在前后移动装置连接板上；

所述的旋转调节装置包括第一旋转调节装置和第二旋转调节装置；第一旋转调节装置包括第一摄像机安装座，第一摄像机安装座的左右两侧均设置有第一旋转调节装置转轴，第一旋转调节装置转轴设置于第一旋转调节装置转轴孔内，第一旋转调节装置由第一旋转调节电机驱动，第一旋转调节电机的输出轴与第一旋转调节装置转轴同轴连接；第二旋转调节装置包括第二摄像机安装座，第二摄像机安装座的左右两侧均设置有第二旋转调节装置转轴，第二旋转调节装置转轴设置于第二旋转调节装置转轴孔内，第二旋转调节装置由第二旋转调节电机驱动，第二旋转调节电机的输出轴与第二旋转调节装置转轴同轴连接；

所述的摄像机构包括第一摄像机和第二摄像机，第一摄像机可拆卸设置在第一摄像机安装座内，第二摄像机可拆卸设置在第二摄像机安装座内。

炉体固定装置包括铰接的第一弧形夹板和第二弧形夹板，第一弧形夹板的铰接端侧面中部开设有水平槽，第二弧形夹板的铰接端设置有铰接板，铰接板位于水平槽内，第一弧形夹板的活动端和第二弧形夹板的活动端均设置有固定板，固定板上设置有螺栓，左右移动装置连接块设置于第一弧形夹板的铰接端上表面。

第一弧形夹板和第二弧形夹板的内表面均设置有橡胶层。

左右移动装置连接块为倒T形连接块，左右移动装置卡槽为倒T形卡槽。