[实用新型]一种单晶炉热场加热系统

权利要求书

1.一种单晶炉热场加热系统，包括筒形的保温罩，保温罩的下部设置有炉底护盘，保温罩内设置有石墨加热器，石墨加热器内设置有石墨坩埚，石墨坩埚内还设置有石英坩埚，石墨坩埚的底部设置有坩埚托盘，坩埚托盘底部竖直设置有埚杆，其特征在于：石墨加热器底部的四个电极连接板均连接有石墨电极，每个石墨加热器的电极连接板均为与石墨加热器一体连接的水平电极连接板，水平电极连接板的下表面设置有与石墨电极上端形状相匹配的石墨电极安装槽，石墨电极安装槽内向上开设有电极螺栓通孔，电极螺栓通孔内设置有电极螺栓，石墨电极包括上端的圆柱状的石墨凸台和下端的圆柱状的石墨柱体，石墨凸台的直径大于石墨柱体的直径，且石墨凸台与石墨柱体一体连接；石墨电极沿轴向开设有石墨电极通孔，石墨电极中部还设置有膨胀孔，膨胀孔的一端与石墨电极通孔导通，膨胀孔的另一端与石墨电极外部导通；石墨电极的外部套设有筒状的石英护套，筒状的石英护套的上端向外部延伸形成的圆锥台状的第一导流部，石英护套的外部套设有筒状的电极护套，筒状的电极护套的上端向内部延伸形成的圆锥台状的第二导流部，电极护套设置在炉底护盘上开设的电极安装孔内。

2.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热系统，其特征在于：石墨凸台的高度大于石墨电极安装槽的深度，石英护套的上端面还开设有石墨凸台卡槽。

3.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热系统，其特征在于：保温罩内部下表面还设置有四个石墨电极支架，每个石墨电极支架均与石墨电极对应设置，石墨电极支架包括一体连接的保温罩固定部和石墨电极限位部，保温罩固定部竖直设置且与保温罩内壁可拆卸连接，石墨电极限位部水平设置且开设有石墨电极限位圆槽，石墨电极限位圆槽的内径与电极护套的外径相匹配，依次套设的电极护套、石英护套和石墨电极的底部均设置在石墨电极限位圆槽内。

4.根据权利要求3所述的单晶炉热场加热系统，其特征在于：石墨电极限位部上还设置有环形的液态硅容置槽，液态硅容置槽与石墨电极限位圆槽同圆心设置，液态硅容置槽位于石墨电极限位圆槽外侧。

5.根据权利要求4所述的单晶炉热场加热系统，其特征在于：液态硅容置槽与石墨电极限位圆槽之间的石墨电极限位部上表面倾斜设置形成第三导流部，第三导流部靠近石墨电极限位圆槽一侧的水平高度高于第三导流部靠近液态硅容置槽一侧的水平高度。

6.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热系统，其特征在于：膨胀孔倾斜设置，膨胀孔与石墨电极通孔导通的一端的水平高度高于与石墨电极外部导通的一端。

7.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热系统，其特征在于：电极螺栓的顶部设置有隔热护套。

8.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热系统，其特征在于：炉底护盘的上表面设置有石墨碳毡。

9.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热系统，其特征在于：电极护套采用石墨电极护套。

10.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热系统，其特征在于：电极螺栓采用石墨螺栓。