[实用新型]一种带观测石墨烯薄膜连续规模化沉积设备有效
申请号: | 201720023816.5 | 申请日: | 2017-01-09 |
公开(公告)号: | CN206502862U | 公开(公告)日: | 2017-09-19 |
发明(设计)人: | 谢成忠 | 申请(专利权)人: | 谢成忠 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/44 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362000 福建省泉*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 观测 石墨 薄膜 连续 规模化 沉积 设备 | ||
技术领域
本实用新型是一种带观测石墨烯薄膜连续规模化沉积设备,属于新能源应用技术领域。
背景技术
新能源有广义和狭义之分,广义的新能源泛指能够实现温室气体减排的得的可利用能源,外延涵盖了高效利用能源、资源综合利用、可再生能源、代替能源、核能、节能等,狭义的新能源指除常规性能源和大型水利发电之外的风能、太阳能、生物能、地热能、海洋能、小水电和核能等能源的总成,现阶段对风能、海洋能、小水电和核能的利用主要集中在电能的转换上,而对太阳能、生物能、地热能的利用除了将其转换为电能外,还应用于向热能和燃气的转换上,总体来讲,新能源的利用主要是围绕发电展开的。
现有技术公开了申请号为:201520927920.8的一种石墨烯薄膜连续规模化沉积设备,包括:密闭的真空室1、用于石墨烯沉积的沉积箔带2和设于真空室两端的石墨烯沉积箔带的收放卷仓3,以及与所述石墨烯沉积箔带2相连接的驱动装置4,所述驱动装置4包括驱动电机与石墨烯沉积箔带收放卷辊5,且所述真空室1与收放卷仓3中间设有用于石墨烯沉积箔带加热装置7,其沿着石墨烯沉积箔带2的运动方向,所述收放卷仓口设有用于冷却沉积有石墨烯的沉积箔带的快速冷却装置8,以使得高温的石墨烯沉积箔带2快速冷却至常温,并使的后续制备进程快速连续地进行。但是,其设备虽然能够对石墨烯薄膜连续规模化沉积,却不能对其沉淀稳定性和质量添加保证,现在的设备虽然也实现了电压温度的监控,但对于石墨烯沉淀的完成度还是无法确定,只能依靠经验来估算时间,颇为不便。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种带观测石墨烯薄膜连续规模化沉积设备,其结构包括移动轮、控制机体、支撑板、气相沉积箱、观测器,所述移动轮与控制机体活动连接,所述控制机体通过支撑板与气相沉积箱连接,所述观测器通过控制机体与气相沉积箱连接,所述控制机体包括接电开关、接电旋钮、接电头、表计、控制开关、外接头、调节旋钮、指示灯、按键,所述接电开关与控制机体活动连接,所述接电旋钮设于控制机体上,所述控制机体固定设有接电头,所述表计设于控制机体上,所述控制机体固定设有控制开关,所述外接头设于控制机体上,所述调节旋钮与控制机体活动连接,所述控制机体固定设有指示灯,所述按键设于控制机体上,所述气相沉积箱包括混气罐、连接管、箱盖,所述混气罐通过连接管与气相沉积箱活动连接,所述箱盖与气相沉积箱活动连接,所述观测器包括耐温摄像头、显象器、显象开关,所述显象器通过摄像头与气相沉积箱连接,所述观测器通过显象器与控制机体连接,所述显象开关设于显象器上。
进一步的,所述混气罐包括进料口。
进一步的,所述进料口设于混气罐上。
进一步的,所述箱盖包括把手。
进一步的,所述把手设于箱盖上。
本实用新型的一种带观测石墨烯薄膜连续规模化沉积设备,通过设有耐温摄像头、显象器,使设备能够对石墨烯的气相沉淀箱内进行观测,方便了用户对气相沉淀完成度掌握的问题。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本实用新型一种带观测石墨烯薄膜连续规模化沉积设备的结构示意图;
图2为本实用新型一种带观测石墨烯薄膜连续规模化沉积设备观测器的结构示意图;
图中:移动轮-1、控制机体-2、支撑板-3、气相沉积箱-4、观测器-5、接电开关-20、接电旋钮-21、接电头-22、表计-23、控制开关-24、外接头-25、调节旋钮-26、指示灯-27、按键-28、混气罐-40、连接管-41、箱盖-42、耐温摄像头-50、显象器-51、显象开关-52、进料口-400、把手-420。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的