[实用新型]带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀

权利要求书

1.一种带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀，具有中空的板阀腔，阀门通道是设于板阀腔壁上的开孔；其特征在于，用于封闭阀门通道的翻板位于板阀腔内部，其一侧通过活动铰链固定在板阀腔的内壁上；

该翻板阀还包括驱动气缸和驱动轴，两者通过运动转换机构连接，用于将气缸推杆的直线运动转换为驱动轴的旋转运动；驱动轴贯穿板阀腔的一个侧壁，其位于板阀腔中的末端通过双摇杆机构与翻板实现连接：驱动轴与主动摇杆的一端固定连接；主动摇杆的另一端通过连杆与从动摇杆的一端连接，从动摇杆的另一端固定在翻板上，连杆与主动摇杆和从动摇杆之间均为活动连接；当翻板阀位于关闭位置时，连杆与主动摇杆呈共线状态，使双摇杆机构处于死点位置以实现自锁。

2.根据权利要求1所述的翻板阀，其特征在于，所述驱动轴上固定设置限位凸轮，在板阀腔上设置与限位凸轮对应的限位块；当连杆与主动摇杆呈共线状态时，限位凸轮与限位块相接触并使驱动轴停止转动。

3.根据权利要求1所述的翻板阀，其特征在于，在翻板与板阀腔相贴合的表面上各设有燕尾槽，燕尾槽中装有用于实现密封的O型橡胶密封圈。

4.根据权利要求1所述的翻板阀，其特征在于，所述翻板阀具有由铝合金材料通过一体加工成型的板阀腔。

5.根据权利要求1至4任意一项中所述的翻板阀，其特征在于，所述驱动轴在板阀腔中的末端截面呈多边形，主动摇杆的一端设置与之匹配的开孔，主动摇杆套装在驱动轴的端部以实现固定。

6.根据权利要求1至4任意一项中所述的翻板阀，其特征在于，所述从动摇杆的另一端固定在翻板的侧边位置。

7.根据权利要求1至4任意一项中所述的翻板阀，其特征在于，所述连杆与主动摇杆和从动摇杆之间是铰链形式的活动连接。