[实用新型]微波等离子体光源

权利要求书

1.一种微波等离子体光源， 其特征在于，包括：

可编程频率源：

用于生成RF信号并输入到微波幅度/相位调整装置，连接于所述的微波幅度/相位调整装置；

微波幅度/相位调整装置：

用于链路中射频信号的幅度和相位调整，连接射频功率放大器；

射频功率放大器：

用于系统中射频信号放大，连接发光单元及嵌入式控制单元；

发光单元：

包括灯珠和谐振腔体，连接嵌入式控制单元；

嵌入式控制单元：

通过检测电源、射频功率放大器单元中的相关物理量，根据一定的算法自适应的调整可编程频率源、幅度/相位调整单元的频率及幅度和相位参量使光源系统快速起辉、并能稳定运行，同时能检测系统故障并实施保护，分别控制链接可编程频率源、微波幅度/相位调整装置及射频功率放大器；及用于供电的电源，电源分别与所述的射频功率放大器和所述的嵌入式控制单元连接。

2.根据权利要求1所述的微波等离子体光源，其特征在于，所述的微波幅度/相位调整装置幅度调整应具有≥40dB的动态范围，步长≤0.5dB；相位调整应具备≥90℃的动态范围，步长≤1℃。

3.根据权利要求1所述的微波等离子体光源，其特征在于，所述的射频功率放大器由两级或三级放大器构成。

4.根据权利要求1所述的微波等离子体光源，其特征在于，所述的灯珠由石英材料构成的密封空腔,腔内填充物包含有氩、氪和金属卤化物。

5.根据权利要求1所述的微波等离子体光源，其特征在于，所述的谐振腔体以陶瓷材料作为介质、对陶瓷材料表面进行金属化后即形成谐振腔体。

6.根据权利要求5所述的微波等离子体光源，其特征在于，所述的谐振腔体为矩形谐振腔体。

7.根据权利要求1所述的微波等离子体光源，其特征在于，所述的灯珠设置于谐振腔体的中心部位。

8.根据权利要求1所述的微波等离子体光源，其特征在于，所述的射频功率放大器与谐振腔之间使用同轴电缆连接，采用探针耦合的方式传递射频能量，可以通过调整探针的长度方便的调整耦合度。