[实用新型]一种热压转移的纳米石墨烯材料薄膜有效
| 申请号: | 201720015467.2 | 申请日: | 2017-01-06 |
| 公开(公告)号: | CN207256990U | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
| 发明(设计)人: | 邱立凡;邱启东 | 申请(专利权)人: | 上海增华电子科技有限公司 |
| 主分类号: | B32B9/00 | 分类号: | B32B9/00;B32B9/04;B32B15/04;B32B15/08;B32B17/06;B32B17/10;B32B27/06;B32B7/08;B32B33/00 |
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| 地址: | 200000 上海市金山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 热压 转移 纳米 石墨 材料 薄膜 | ||
1.一种热压转移的纳米石墨烯材料薄膜,其特征在于:具有复合层结构,依次包括第一基板(1)、第二基板(2),所述第一基板(1)与第二基板(2)的之间具有纳米石墨烯材料薄膜(3),并通过升温与加压的作用。
2.根据权利要求1所述的一种热压转移的纳米石墨烯材料薄膜,其特征在于:所述纳米石墨烯材料薄膜(3)间接或直接沉积于第一基板(1),亦或整合于单一电子元件或电子元件阵列,并利用该纳米石墨烯材料薄膜(3)作导电或导热层。
3.根据权利要求2所述的一种热压转移的纳米石墨烯材料薄膜,其特征在于:所述纳米石墨烯材料可以是巴克球、C-60、石墨烯、纳米碳管、纳米金属线、半导体、金属氧化物等任一径向在纳米等级的材料。
4.根据权利要求3所述的一种热压转移的纳米石墨烯材料薄膜,其特征在于:所述沉积是真空抽滤、旋涂、喷涂、超音波喷涂、网印、电泳、转移、物理气相沉积法、化学气相沉积法、水热法可在任一载具上形成薄膜的技术。
5.根据权利要求4所述的一种热压转移的纳米石墨烯材料薄膜,其特征在于:所述薄膜厚度范围可以是1纳米至10公分。
6.根据权利要求5所述的一种热压转移的纳米石墨烯材料薄膜,其特征在于:该纳米石墨烯材料薄膜可以是整面、图案化,亦或利用蚀刻或转移完成图案化的纳米石墨烯材料薄膜。
7.根据权利要求6所述的一种热压转移的纳米石墨烯材料薄膜,其特征在于:所述第一基板(1)和第二基板(2)是硅晶圆、半导体、石英、玻璃、金属箔、塑胶、陶瓷用以承载该纳米石墨烯材料薄膜的基板。
8.根据权利要求7所述的一种热压转移的纳米石墨烯材料薄膜,其特征在于:所述升温的温度范围可以是室温至1000℃任何加热形式所能达到的温度。
9.根据权利要求8所述的一种热压转移的纳米石墨烯材料薄膜,其特征在于:所述的加压范围可以是1pa至1000T pa任何加压形式所能达到的压力。
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