[实用新型]一种酸性蚀刻废液的回收处理系统

权利要求书

1.一种酸性蚀刻废液的回收处理系统，其特征在于，包括用于收集蚀刻生产线的酸性蚀刻废液的废液收集槽、用于对酸性蚀刻废液进行电解的膜电解槽，所述废液收集槽与所述膜电解槽之间通过输液管连通，并安装水泵将所述废液收集槽中的酸性蚀刻废液输入所述膜电解槽中；所述膜电解槽由膜将电解槽分为阴极室和阳极室，所述膜电解槽将酸性蚀刻废液电解析出金属铜和氯气，得到酸性蚀刻再生液；

所述回收处理系统还包括用于储存酸性蚀刻再生液的储存槽、用于吸收氯气的氯气吸收装置、储存有浓度为0.5～50％的碱液的碱液反应槽和与所述碱液反应槽连通的氧化剂收集桶，在所述碱液反应槽上安装有用于对碱液进行加热的加热装置，使所述碱液保持在30～80摄氏度，所述氯气吸收装置将析出的氯气进行吸收并导入至所述碱液反应槽的碱液中，氯气与碱液反应生成能作为原蚀刻液生产中需添加的氧化剂来使用的混合溶液，反应完成后形成的混合溶液输入所述氧化剂收集桶中。

2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻废液的回收处理系统，其特征在于，还包括安装在所述膜电解槽上方的氯气传感器和用于控制所述氯气吸收装置的控制模块，所述控制模块与所述氯气传感器、所述氯气吸收装置电气连接，在所述氯气传感器检测到氯气时，所述控制模块控制所述氯气吸收装置开启。

3.根据权利要求1或2所述的酸性蚀刻废液的回收处理系统，其特征在于，所述氯气吸收装置为喷射吸收或喷淋吸收装置。

4.根据权利要求1所述的酸性蚀刻废液的回收处理系统，其特征在于，还包括与所述膜电解槽连通的循环槽，所述阴极室和阳极室分别通过输液管与所述循环槽循环连通，并分别安装水泵使酸性蚀刻废液在所述阳极室与所述循环槽之间及所述阴极室与所述循环槽之间循环流动。

5.根据权利要求1所述的酸性蚀刻废液的回收处理系统，其特征在于，所述碱液为氢氧化钠或氢氧化钾溶液，所述氢氧化钠溶液与氯气反应生成氯酸钠、次氯酸钠以及氯化钠的混合溶液；所述氢氧化钾溶液与氯气反应生成氯酸钾、次氯酸钾以及氯化钾的混合溶液。