[实用新型]一种用于单晶硅棒截断的捆绑支撑装置有效

专利信息
申请号: 201720006312.2 申请日: 2017-01-04
公开(公告)号: CN206416351U 公开(公告)日: 2017-08-18
发明(设计)人: 傅林坚;沈文杰;卢嘉彬;吴兵兵;邱文杰;杨思炜;何守龙;罗世铭;邱敏秀 申请(专利权)人: 浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: B28D7/04 分类号: B28D7/04
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司33212 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 单晶硅 截断 捆绑 支撑 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型是关于单晶硅截断装备辅助设备领域,特别涉及一种用于单晶硅棒截断的捆绑支撑装置。

背景技术

单晶硅是一种良好的半导材料,其主要运用于半导体器件、太阳能电池等领域。通过单晶炉生长得到的是单晶硅棒,单晶硅棒的截断是其进一步加工处理和运用过程中必须的一道工序。在单晶硅棒截断设备中,硅棒的支撑和夹紧是其截断质量好坏的关键。硅棒截断时,其于截断工位的一端被完全固定,但由于硅棒外表面的不规则性,使得硅棒另一端固定处于过定位或欠定位的状态,当硅棒被截断瞬间,硅棒表面产生细微的位移而导致“崩边”现象,严重影响截断质量,造成原材料不必要的损失。

为了解决上述问题,现主要采用人工塞垫的方式,但由于人工塞垫的方法难以控制,且效率低下,硅棒截断质量仍难以有效保证。因而如何减小硅棒截断过程中的细微位移,防止“崩边”现象,是一个急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足,提供一种能减小硅棒在截断过程中细微位移、防止“崩边”现象的捆绑支撑装置。为解决上述技术问题,本实用新型的解决方案是:

提供一种用于单晶硅棒截断的捆绑支撑装置,用于硅棒的支撑和夹紧,所述用于单晶硅棒截断的捆绑支撑装置包括支撑机构、捆绑机构、连接组件;

所述连接组件包括支架垫块、螺钉;

所述支撑机构包括底座、支撑垫块;底座的两侧对称开有(八个)螺纹孔,用于安装捆绑机构;底座上还左右对称共开有(六个)螺纹孔,支撑垫块设有两个,分别利用螺钉左右对称安装在底座上;且支撑垫块上有一个斜面,两个支撑垫块的斜面相对安装,用于配合托住硅棒;

所述捆绑机构包括捆绑带、捆绑带扣头、捆绑带支架、捆绑带压头;捆绑带支架设有两个,分别利用螺钉通过支架垫块固定在底座的两侧;捆绑带扣头包括扣座、扣紧板、连接轴,扣紧板的头部为锯齿状,扣紧板、扣座通过连接轴连接,扣座通过螺钉固定在右侧的捆绑带支架的外侧;捆绑带支架的上端开有用于捆绑带通过的通孔,捆绑带能穿过两侧的捆绑带支架通孔,捆绑带压头用于将捆绑带的一端部固定在左侧的捆绑带支架上,且捆绑带压头和左侧的捆绑带支架采用螺钉连接;捆绑带的另一端穿过扣座,通过压紧扣紧板锁死捆绑带,再利用捆绑带压头固定在右侧的捆绑带支架上;当硅棒置于支撑垫块和捆绑带上之后,能消除接触间隙。

作为进一步的改进,所述支撑垫块的斜面角度能根据硅棒直径大小进行调整,用于贴合硅棒。

本实用新型的工作原理:整个装置通过支撑机构托住硅棒,再拉紧捆绑带并锁死,减小硅棒在截断过程中的细微位移。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

本实用新型结构简单、成本低廉,能消除接触间隙,显著减小了硅棒在截断过程中的细微位移,有效消除现存硅棒截断“崩边”问题,而且适用于不同直径的硅棒。

附图说明

图1为本实用新型的正视图。

图2为本实用新型的三维等轴侧视图。

图3为硅棒置于捆绑带上,且捆绑带锁紧之后的状态图。

图中的附图标记为:1捆绑带压头;2捆绑带支架;3支架垫块;4捆绑带;5底座;6支撑垫块;7扣座;8扣紧板;9连接轴。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述:

如图1、图2所示的一种用于单晶硅棒截断的捆绑支撑装置包括支撑机构、捆绑机构、连接组件,用于硅棒的支撑和夹紧。其中,连接组件由支架垫块3和螺钉组成。

所述支撑机构包括底座5、支撑垫块6;底座5上左右对称共开有六个螺纹孔,支撑垫块6设有两个,分别利用螺钉左右对称安装在底座5上。支撑垫块6上有一个斜面,两个支撑垫块6的斜面相对安装,用于配合托住硅棒;且支撑垫块6可根据硅棒直径大小调整其斜面的角度,以便于更好地贴合硅棒。底座5的两侧还对称开有八个螺纹孔,用于安装捆绑机构。

所述捆绑机构包括捆绑带4、捆绑带扣头、捆绑带支架2、捆绑带压头1;捆绑带支架2设有两个,分别利用螺钉通过支架垫块3固定在底座5的两侧。捆绑带扣头包括扣座7、扣紧板8、连接轴9,扣紧板8、扣座7通过连接轴9连接,扣座7通过螺钉固定在右侧的捆绑带支架2的外侧。捆绑带支架2的上端开有用于捆绑带4通过的通孔,捆绑带4穿过该通孔,然后再穿过扣座7,用捆绑带压头1固定在两侧的捆绑带支架2上,捆绑带压头1和捆绑带支架2采用螺钉连接。当硅棒置于支撑垫块6和捆绑带4上后,拉紧捆绑带4,然后用扣紧板8锁死,可有效消除接触间隙,可参考图3。扣紧板8顶部设计为锯齿状,增大锁紧力。

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