[实用新型]一种纳米镀膜设备进料装置有效
| 申请号： | 201720006054.8 | 申请日： | 2017-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN206359604U | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 宗坚 | 申请（专利权）人： | 无锡荣坚五金工具有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;B05B5/16 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 江苏省无锡市惠*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 镀膜 设备 进料 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米镀膜设备进料装置，其特征在于，包括反应腔室(1)、蒸发容器(2)、电热管(3)、输气管路(4)、工艺气体管路(5)和化学单体进料管(6)；
所述输气管路(4)前端与工艺气体管路(5)相连通，后端与反应腔室(1)相连通；所述蒸发容器(2)安装于输气管路(4)内；
所述化学单体进料管(6)安装于输气管路(4)和蒸发容器(2)上部，且其下端伸入蒸发容器内部,其上端伸出输气管路外部；所述蒸发容器底部连接有电热管(3)，且电热管伸入蒸发容器底部的U型槽内。
2.根据权利要求1所述的一种纳米镀膜设备进料装置，其特征在于，所述反应腔室(1)的腔容积为50L-1000L，材质为铝合金或不锈钢。
3.根据权利要求1所述的一种纳米镀膜设备进料装置，其特征在于，所述蒸发容器(2)为圆筒形，且其直径为20mm-200mm，材质为铜合金、铝合金或不锈钢。
4.根据权利要求1所述的一种纳米镀膜设备进料装置，其特征在于，所述电热管(3)功率为10W-200W。
5.根据权利要求1所述的一种纳米镀膜设备进料装置，其特征在于，所述输气管路(4)内径为22mm-202mm。
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