[发明专利]气体捕集型真空泵及其制作方法和使用方法

权利要求书

1.一种气体捕集型真空泵，包括壳体、包括多根引针的针封陶瓷芯柱，阴极组件和阳极，其特征在于，该阴极组件包括两个阴极。

2.如权利要求1所述的气体捕集型真空泵，其特征在于，所述阴极组件进一步包括用作阴极公共端的金属杆，该金属杆与所述两个阴极电连接。

3.如权利要求1所述的气体捕集型真空泵，其特征在于，所述金属杆由难熔金属制成。

4.如权利要求1所述的气体捕集型真空泵，其特征在于，所述金属杆为钼杆，所述钼杆通过固定在钼杆顶端的钼带与阴极电连接。

5.如权利要求2所述的气体捕集型真空泵，其特征在于，所述两个阴极对称地位于所述钼杆的两侧。

6.如权利要求2所述的气体捕集型真空泵，其特征在于，所述针封陶瓷芯柱封装有四根引针，分别与两个阴极、阳极和阴极公共端电连接。

7.如权利要求1所述气体捕集型真空泵，其特征在于，所述阴极由表面烧结有电泳涂覆的氧化钇的钨丝构成，所述阳极由容置在钽容器内经真空熔炼的铒构成。

8.如权利要求1所述气体捕集型真空泵，其特征在于，所述壳体进一步包括用于连接被抽器件的法兰和用于外接真空泵的排气管。

9.如权利要求1所述的气体捕集型真空泵的使用方法，其特征在于，所述使用方法包括：

该真空泵处于工作状态时，

对真空泵施加阳极电压，对两个阴极中的一个阴极施加阴极电压，通过测量壳体离子流监控真空泵工作状态，

当该一个阴极失效时，对所述两个阴极中的另一个阴极施加阴极电压。

10.如权利要求1所述的气体捕集型真空泵的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

对阳极施加电压，对两个阴极中的一个阴极施加电压，绘制真空泵离子流-真空度对应曲线；

将该真空泵维持真空状态封离保存。