[发明专利]晶圆挂具

权利要求书

1.晶圆挂具，其特征在于，包括：挂板、底座和上盖，所述底座设置在所述挂板上，所述底座的上表面用于放置待加工的晶圆；所述上盖设置有通孔；所述上盖盖在所述底座上并可自所述底座上移开地设置；所述上盖与所述底座夹持晶圆，晶圆自所述通孔处外露。

2.根据权利要求1所述的晶圆挂具，其特征在于，所述的底座与挂板之间设置弹性复位装置，所述底座受压时使得弹性复位装置产生弹性形变力，弹性形变力为晶圆提供缓冲力并具有使所述底座复位的趋势。

3.根据权利要求2所述的晶圆挂具，其特征在于，所述弹性复位装置数目为多个，均匀分布于底座与所述挂板之间。

4.根据权利要求2或3所述的晶圆挂具，其特征在于，所述弹性复位装置为弹簧或橡胶柱、橡胶垫。

5.根据权利要求1所述的晶圆挂具，其特征在于，所述的底座为圆柱形形状，所述底座的上表面设置有多个凹槽。

6.根据权利要求4所述的晶圆挂具，其特征在于，所述底座的侧表面设置有第一容置槽，所述第一容置槽内设置第一密封圈，所述第一密封圈突出于所述侧表面。

7.根据权利要求1所述的晶圆挂具，其特征在于，所述底座为圆柱状；所述上盖为圆环状；所述上盖形状与所述底座形状相适应；所述上盖套在所述底座上并可自所述底座上移开地设置，所述上盖覆盖所述底座的上表面一部分。

8.根据权利要求1或7所述的晶圆挂具，其特征在于，所述的上盖设置有第二容置槽，所述通孔与所述第二容置槽连通；所述上盖盖在所述底座上时，所述底座部分插入所述第二容置槽内。

9.根据权利要求8所述的晶圆挂具，其特征在于，所述上盖上设置有弹片；所述弹片位于所述第二容置槽内并向所述通孔方向延伸设置；自所述通孔的径向方向，所述弹片延伸至通孔内。

10.根据权利要求9所述的晶圆挂具，其特征在于，所述第二容置槽内还设置有衬环；所述弹片一端被夹持于所述衬环与所述上盖之间。

11.根据权利要求10所述的晶圆挂具，其特征在于，所述弹片包括圆弧状基片和齿状片；每片所述圆弧状基片上设置有多个齿状片，所述圆弧状基片夹持于所述衬环与所述上盖之间；所述齿状片自所述基片向所述通孔方向延伸至通孔内。

12.根据权利要求10所述的晶圆挂具，其特征在于，所述衬环与所述上盖之间设置有第二密封圈。

13.根据权利要求10所述的晶圆挂具，其特征在于，所述衬环与所述底座相对的表面为斜面；所述斜面自所述衬环下端起向上延伸；所述衬环下端相比上端距离所述底座侧表面更远。

14.根据权利要求1所述的晶圆挂具，其特征在于，所述挂板上设置有沉孔，所述底座下表面设置有台阶；所述台阶面上设置有衬板，所述衬板与所述底座和所述挂板同时连接。

15.根据权利要求1所述的晶圆挂具，其特征在于，所述衬板为环状，所述衬板与所述底座通过销子连接，所述衬板与所述挂板通过连接件连接。

16.根据权利要求1所述的晶圆挂具，其特征在于，所述上盖通过销轴可转动地设置在所述挂板上，所述销轴位于所述底座一侧。

17.根据权利要求1所述的晶圆挂具，其特征在于，所述底座及所述上盖数目均为多个，间隔分布在所述挂板的一个表面或两个表面上。