[发明专利]四极杆电压控制电路及方法

权利要求书

1.一种四极杆电压控制电路，包括控制单元，其特征在于：所述电压控制电路进一步包括：

顺次连接的第一数模转换器、第一调节单元、射频驱动单元、谐振单元、第一反馈电路和第一模数转换器，顺次连接的第二数模转换器、第二调节单元、射频驱动单元、谐振单元、第二反馈电路和第二模数转换器；所述第一数模转换器的输入端、第二数模转换器的输入端、第一模数转换器的输出端和第二模数转换器的输出端连接所述控制单元，第一反馈电路的输出端连接第一调节单元的输入端，第二反馈电路的输出端连接第二调节单元的输入端；所述第一反馈电路和第二反馈电路分别接收谐振单元输出的V_RF+、V_RF-进行转化后输出反馈电压至第一调节电路和第二调节电路，经第一调节电路和第二调节电路的调节使得各自的反馈电压分别与第一数模转换器和第二数模转换器输出的电压相同；

第一开关，所述第一开关设置在第一调节单元和射频驱动单元之间，使得所述射频驱动单元选择性地连通第一数模转换器的输出端或第一调节单元的输出端；

第二开关，所述第二开关设置在第二调节单元和射频驱动单元之间，使得所述射频驱动单元选择性地连通第二数模转换器的输出端或第二调节单元的输出端；

第三开关，所述第三开关用于控制谐振单元的V_RF-输出端与第二反馈电路之间的通断；

第四开关，所述第四开关设置在谐振单元的V_RF+输出端与第一反馈电路之间，使得V_RF+输出端选择性地连接第一反馈电路或第二反馈电路。

2.根据权利要求1所述的四极杆电压控制电路，其特征在于：所述第一开关、第二开关和第四开关为单刀双掷开关。

3.根据权利要求2所述的四极杆电压控制电路，其特征在于：所述第三开关和第四开关的设置位置互换。

4.根据权利要求1所述的四极杆电压控制电路，其特征在于：所述第一调节单元和第二调节单元包括减法电路和PID控制电路。

5.根据权利要求4所述的四极杆电压控制电路，其特征在于：所述PID控制电路为积分电路或微分电路或比例电路中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的四极杆电压控制电路，其特征在于：所述第一反馈电路和第二反馈电路包括电容和AC-DC转换器。

7.根据权利要求1所述的四极杆电压控制电路，其特征在于：所述电压控制电路进一步包括：

正压电路，包括：顺次相连的第三数模转换器、第一积分电路、第一高压放大电路；

负压电路，包括：顺次相连的第四数模转换器、第二积分电路、第二高压放大电路；所述第三数模转换器和第四数模转换器的输入端连接所述控制单元，所述第一高压放大电路和第二高压放大电路的输出端连接所述谐振单元；

高压衰减检测电路，所述高压衰减检测电路的输入端连接第一高压放大电路和第二高压放大电路的输出端；

第三模数转换器，所述第三模数转换器的输入端连接所述高压衰减检测电路，输出端连接所述控制单元；

第五开关，所述第五开关用于控制第一高压放大电路和高压衰减检测电路的通断；

第六开关，所述第六开关用于控制第二高压放大电路和高压衰减检测电路的通断。