[发明专利]COA基板以及用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩

说明书

本发明提供了一种COA基板，其包括：基板；第二金属层，设置于所述基板上；钝化层，设置于所述第二金属层上；彩色光阻层，设置于所述钝化层上，所述彩色光阻层具有暴露所述钝化层的第一过孔；树脂层，设置于所述彩色光阻层上并填充所述第一过孔，所述树脂层的填充于所述第一过孔内的部分中具有第二过孔，所述第二过孔包括贯穿所述钝化层的主过孔以及由所述主过孔的部分孔壁向外凸出形成的副过孔，所述副过孔与所述主过孔的孔深相同。本发明通过形成副过孔来破坏主过孔的规则形状，这样使后续的PI溶液涂布时PI溶液容易流入第二过孔内，从而第二过孔的开口周围的PI溶液不会集聚，进而可以消除在显示时此处对应的位置形成明显的亮暗不均现象。

技术领域

本发明属于显示基板制作技术领域，具体地讲，涉及一种COA基板以及用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩。

背景技术

液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)己成为人们生活中的必需品，随着人们需求的提高，为了提高液晶显示器的显示品质，避免阵列基板和彩膜基板对盒时的偏差影响液晶显示器的开口率和出现漏光的问题，彩色滤光片与阵列基板集成在一起的集成技术(Color Filter on Array，简称COA)应用而生，COA技术就是将彩色滤光片设置于阵列基板上。

在目前的COA基板中，PFA(英文名称为：Poly Fluoro Alkoxy，简称：过氟烷基化物)层中都有过孔(Via Hole)，以便像素电极通过过孔与第二金属层电连接。然而由于PFA层中的过孔的截面图形(沿与孔深方向垂直的方向对过孔进行截面)呈规则状(例如矩形)，而在后续的PI(配向)溶液涂布时，PI溶液在规则的过孔的开口周围的张力均相同，因此PI溶液不容易流入过孔内，从而PFA层上的位于过孔的开口周围的PI溶液会集聚，从而形成的PI膜层的厚度在此处较厚，进而在显示时此处对应的位置具有明显的亮暗不均(mura)现象。

发明内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种能使PI溶液易于流入树脂层的过孔中的COA基板以及用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩。

根据本发明的一方面，提供了一种COA基板，其包括：基板；第二金属层，设置于所述基板上；钝化层，设置于所述第二金属层上；彩色光阻层，设置于所述钝化层上，所述彩色光阻层具有暴露所述钝化层的第一过孔；树脂层，设置于所述彩色光阻层上并填充所述第一过孔，所述树脂层的填充于所述第一过孔内的部分中具有第二过孔，所述第二过孔包括贯穿所述钝化层的主过孔以及由所述主过孔的部分孔壁向外凸出形成的副过孔，所述副过孔与所述主过孔的孔深相同。

进一步地，所述副过孔的截面图形的尺寸远小于所述主过孔的截面图形的尺寸，所述副过孔的截面图形指的是沿着与所述副过孔的孔深方向垂直的方向对所述副过孔进行截面形成的图形，所述主过孔的截面图形指的是沿着与所述主过孔的孔深方向垂直的方向对所述主过孔进行截面形成的图形。

进一步地，所述主过孔的截面图形呈矩形，所述副过孔的截面图形位于所述主过孔的截面图形的角落处。

进一步地，所述副过孔的截面图形呈矩形，所述副过孔的截面图形的角落与所述主过孔的截面图形的角落融合。

进一步地，所述COA基板还包括：第一金属层，设置于所述基板和所述第二金属层之间；第一绝缘层，设置于所述第一金属层和所述第二金属层之间；有源层，设置于所述第一绝缘层和所述第二金属层之间，所述第二金属层与所述有源层接触；像素电极，设置于所述树脂层上，并通过所述第二过孔与所述第二金属层接触。

根据本发明的另一方面，还提供了一种用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩，所述光罩包括主半透部以及所述主半透部的部分向外凸出形成的副半透部，所述主半透部和所述副半透部均呈网格状，且所述主半透部和所述副半透部的网格条是遮光的。

进一步地，所述主半透部呈矩形，所述副半透部位于所述主半透部的角落处。