[发明专利]非晶合金激光低温抛光系统及方法

权利要求书

1.一种非晶合金激光低温抛光系统，其特征在于，包括一加工箱室、一夹装平台、一激光发射机构、一激光传动平台、一面型检测反馈机构和一控制端，所述激光发射机构与所述激光传动平台传动连接地设置于所述加工箱室内；所述夹装平台设置于所述加工箱室内并固定于所述激光发射机构的下方；所述面型检测反馈机构连接所述加工箱室并位于所述夹装平台的上方；所述激光传动平台、所述面型检测反馈机构和所述激光发射机构分别连接所述控制端；所述激光发射机构可发射YAG激光和ArF准分子激光。

2.根据权利要求1所述的非晶合金激光低温抛光系统，其特征在于，所述激光发射机构包括一YAG激光发射装置和一ArF准分子激光发射装置。

3.根据权利要求1所述的非晶合金激光低温抛光系统，其特征在于，所述激光传动平台包括一三维传动平台。

4.根据权利要求3所述的非晶合金激光低温抛光系统，其特征在于，所述三维传动平台包括一第一方向传动机构、一第二方向传动机构、一升降机构和一固定座；所述激光发射机构固定于所述固定座，所述固定座可沿所述第一方向往复运动地与所述第一方向传动机构传动连接，所述固定座可沿所述第二方向往复运动地与所述第二方向传动机构传动连接，所述固定座可沿竖直方向往复运动地与所述升降机构传动连接。

5.根据权利要求1～4任一项所述的非晶合金激光低温抛光系统，其特征在于，还包括一光束均匀器，所述光束均匀器连接所述激光发射机构。

6.根据权利要求5所述的非晶合金激光低温抛光系统，其特征在于，还包括一抽尘装置和一管道，所述抽尘装置通过所述管道与所述加工箱室连通。

7.一种基于权利要求1～6任一项所述非晶合金激光低温抛光系统的非晶合金激光低温抛光方法，包括步骤：

S1：将一非晶合金产品固定于所述夹装平台；

S2：启动面型检测反馈机构和所述控制端，所述面型检测反馈机构实时向所述控制端反馈所述非晶合金产品的表面状态数据；

S3：通过所述激光传动平台传动所述激光发射机构对所述非晶合金产品定位；

S4：启动所述激光发射机构向所述非晶合金产品发射YAG激光进行粗抛光工序,所述YAG激光的波长为300nm，所述YAG激光的脉宽为12ns，所述YAG激光的能量密度为3.2-800J/cm²；

S5：启动所述激光发射机构向所述非晶合金产品发射ArF准分子激光进行精抛光工序，所述ArF准分子激光的波长为160nm，所述ArF准分子激光的脉宽为12ns，所述ArF准分子激光的能量密度为16.5J/cm²。

8.根据权利要求7所述的非晶合金激光低温抛光方法，其特征在于，所述激光发射机构的抛光速度为10mm/s。

9.根据权利要求8所述的非晶合金激光低温抛光方法，其特征在于，所述YAG激光和所述ArF准分子激光与所述非晶合金产品表面呈45°夹角。

10.根据权利要求9所述的非晶合金激光低温抛光方法，其特征在于，所述激光传动平台按照交叉扫描方式和均匀扫描方式传动所述激光发射机构。