[发明专利]有机发光显示装置及其制备方法

权利要求书

1.一种有机发光显示装置，所述有机发光显示装置具有发光区域，其特征在于，包括：

基板；

形成于所述基板上的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括源/漏极；

形成于所述薄膜晶体管上的第一有机绝缘层，所述第一有机绝缘层在所述源/漏极对应的位置开设有过孔；

形成于所述第一有机绝缘层上的阳极，所述阳极包括依次形成于所述第一有机绝缘层上的第一阳极金属层、第二阳极金属层以及第三阳极金属层，所述第二阳极金属层与所第三阳极金属层形成于所述发光区域内，所述第一阳极金属层形成于发光区域内以及过孔内，所述第一阳极金属层通过所述过孔与所述源/漏极连接，其中，所述第一阳极金属层的反射率低于所述第二阳极金属层的反射率，所述第三阳极金属层用于透光，且所述第三阳极金属层的透光率大于第一阳极金属层的透光率，所述第二阳极金属层以及所述第三阳极金属层不覆盖于所述过孔的位置，其中，第一阳极金属层的厚度分别大于第二阳极金属层的厚度和第三阳极金属层的厚度；

形成于所述阳极上的第二有机绝缘层；

形成于所述阳极的发光区域上的有机发光层；

形成于所述有机发光层上的阴极。

2.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其特征在于，所述第一阳极金属层的材质为钛。

3.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其特征在于，所述第二阳极金属层的材质为银，第一阳极金属层的厚度为120～180nm。

4.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其特征在于，所述第三阳极金属层的材质为氧化铟锡。

5.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其特征在于，所述第二有机绝缘层形成于所述第一阳极金属层上，所述第一阳极金属层的材质为钛，所述第二阳极金属层的材质为银，所述第三阳极金属层的材质为氧化铟锡。

6.根据权利要求1所述的有机发光显示装置，其特征在于，所述第一阳极金属层的线宽小于所述第二有机绝缘层的线宽。

7.一种有机发光显示装置的制备方法，其特征在于，包括：

提供基板；

在所述基板上制备薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括源/漏极；

在所述薄膜晶体管上形成第一有机绝缘层；

在所述第一有机绝缘层开设对齐于所述源/漏极的过孔；

在所述第一有机绝缘层上形成阳极，所述阳极包括依次形成于所述第一有机绝缘层上的第一阳极金属层、第二阳极金属层以及第三阳极金属层，所述第二阳极金属层与所第三阳极金属层形成于发光区域内，所述第一阳极金属层形成于所述发光区域内以及所述过孔内，所述第一阳极金属层通过所述过孔与所述源/漏极连接，其中，所述第一阳极金属层的反射率低于所述第二阳极金属层的反射率，所述第三阳极金属层用于透光，且所述第三阳极金属层的透光率大于第一阳极金属层的透光率，所述第二阳极金属层以及所述第三阳极金属层不覆盖于所述过孔的位置，其中，第一阳极金属层的厚度分别大于第二阳极金属层的厚度和第三阳极金属层的厚度；

在所述阳极上形成第二有机绝缘层；

所述阳极的发光区域上形成有机发光层；

在所述有机发光层上形成阴极。

8.根据权利要求7所述的有机发光显示装置的制备方法，其特征在于，所述在所述第一有机绝缘层上形成阳极的步骤包括：

在所述第一有机绝缘层依次形成所述第一阳极金属层、所述第二阳极金属层以及所述第三阳极金属层；

将所述过孔内的所述第二阳极金属层以及所述第三阳极金属层去除，保留所述过孔内的所述第一阳极金属层。

9.根据权利要求8所述的有机发光显示装置的制备方法，其特征在于，所述将所述过孔内的所述第二阳极金属层以及所述第三阳极金属层去除的步骤包括：

对所述阳极进行涂胶、曝光和显影处理；

将所述过孔内的所述第二阳极金属层以及所述第三阳极金属层刻蚀去除，保留所述过孔内的所述第一阳极金属层。

10.根据权利要求9所述的有机发光显示装置的制备方法，其特征在于，所述将所述过孔内的所述第二阳极金属层以及所述第三阳极金属层刻蚀去除，保留所述过孔内的所述第一阳极金属层的步骤包括：

采用湿法刻蚀工艺，将所述过孔内的所述第二阳极金属层以及所述第三阳极金属层刻蚀去除，保留所述过孔内的所述第一阳极金属层。