[发明专利]光波导元件及其制造方法

权利要求书

1.一种光波导元件，包括：

下包覆层，其组成物包括不可被蚀刻的已闭环的聚酰亚胺及片状粘土，其中该下包覆层的该片状粘土的重量百分比介于20％至60％之间；

核心层，其组成物包括可被蚀刻的已闭环的聚酰亚胺及片状粘土，其中该核心层的该片状粘土的重量百分比介于20％至60％之间；以及

上包覆层，其组成物包括聚合物及片状粘土，其中该上包覆层的该片状粘土的重量百分比介于20％至60％之间，

其中该核心层置于该下包覆层及该上包覆层之间，该核心层的折射率大于该上包覆层及该下包覆层的折射率，

其中该可被蚀刻的已闭环的聚酰亚胺具有下列式2的重复单元：

其中，A’为其中X’与Y’各自独立地为氢、C₁-C₁₀的烷基、三氟甲基、羟基、C₁-C₁₀的烷氧基、卤素基、-O-Ar·、-CH₂-Ar·、-C(CH₃)₂-Ar、或-SO₂-Ar·，Z’是-O-、-(CR₂)_m-、-(CH₂)_p-C(CR₃)₂-(CH₂)_q-或-SO₂-，且X’与Y’的至少其中之一为羟基，其中R是氢或氟，m、p及q为0-10的整数，B’是其中X与Y各自独立地为氢、C₁-C₁₀的烷基、三氟甲基、羟基、C₁-C₁₀的烷氧基、卤素基，Z是-O-、-(CR₂)_m-、-(CH₂)_p-C(CR₃)₂-(CH₂)_q-、-SO₂-、-Ar-O-Ar-、-Ar-CH₂-Ar-、-Ar-C(CH₃)₂-Ar-或-Ar-SO₂-Ar-，R是氢或氟，m、p及q为0-10的整数，Ar为苯环。

2.如权利要求1所述的光波导元件，其中该上包覆层的该聚合物选自已闭环的聚酰亚胺、环氧树脂(epoxy)、聚丙烯酸(poly(acrylic acid))、聚甲基丙烯酸(poly(methacrylicacid))、环烯烃聚合物(poly(cyclic olefin))、聚硅氧烷(polysiloxane)、及聚酰胺-亚酰胺(polyamideimide)。