[发明专利]一种束流准直器装置

权利要求书

1.一种束流准直器装置，包括安装在高度支撑平台(2)上的准直器(1)，其特征在于，所述准直器(1)的真空腔(3)内安装有准直块(4)、准直块支撑(5)、航空插头(7)、绝缘块(6)；

所述真空腔(3)前后端与束流线进行真空连接，其整体漏率小于1.0×10-11Pa·m³/s；

所述准直块(4)包括水平方向和竖直方向各一对；

所述准直块支撑(5)上设有线性导向槽，并将四个所述准直块分别固定在真空腔内，准直块沿着导向槽滑动；

四个准直块(4)经航空插头(7)接入四台皮安表，皮安表通过串口服务器汇总连接到上位机。

2.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，所述准直器(1)通过高度支撑平台(2)作支撑，支撑平台在水平和垂直方向可微调。

3.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，所述准直块选用钨、钽等高原子序数、高密度、高熔点、导电良好的金属材料导电金属材料，其形状根据实际需求而定，如方形，其尺寸沿束流方向显著大于束流粒子的射程。

4.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，所述准直块在准直块支撑(5)上进行位置调节，实现水平和竖直两个方向不同间隙的准直。

5.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，所述准直块支撑(5)是一定形状的无磁材料设计，支撑上设计线性导向槽。

6.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，所述准直块(4)上的电流信号通过航空插头(7)引出，航空插头(7)与真空腔采用密封连接。

7.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，所述绝缘块(6)为低放气率绝缘材料，保证准直块(4)与准直块支撑(5)之间绝缘。

8.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，四个准直块(4)的信号分别经航空插头(7)接入四台皮安表，皮安表的信号通过串口服务器汇总到上位机，在上位机中实现皮安表的设置、数据获取、数据处理和保存。

9.根据权利要求1所述的一种束流准直器装置，其特征在于，该装置工作方式为：

束流经过准直时部分束流会轰击在准直块上，相应的皮安表上就会有电流信号；可以根据皮安表信号的相对大小分析束流的偏向和位置信息；通过调节准直块的位置和准直块之间的相对位置关系来改变束流的形状和大小，从而提供高质量、高稳定性的束团。