[发明专利]调压装置和喷涂刀具有效
申请号: | 201711479157.7 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN108121093B | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 席运泽;范志翔 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调压 装置 喷涂 刀具 | ||
本申请提供一种调压装置和喷涂刀具,调压装置包括:壳体及设于壳体内的膜片、弹性体及平面阀;壳体包括依次连接的第一收容腔和第二收容腔;第一收容腔和第二收容腔之间设有一通孔;膜片和弹性体设于第二收容腔内且膜片与所弹性体一端连接;膜片盖住通孔且其周缘与第二收容腔周壁抵持,平面阀包括压力调节杆及与其连接的活动杆,平面阀设于第一收容腔内,活动杆伸入第二收容腔内与弹性体连接;第一收容腔内设有通道,压力调节杆活动装于通道内;当进入第一收容腔的气体或者液体穿过通孔并推动膜片挤压弹性体,弹性体沿远离第一收容腔移动并带动连接杆移动而拉动压力调节杆相对所述通道移动,以使通道内的气体或者液体的的压力减小。
技术领域
本发明涉及液晶显示面板制造领域,特别涉及一种调压装置和喷涂刀具。
背景技术
随着显示技术的发展,液晶显示面板的制备逐渐得到各个企业及科研机构的广泛关注。在液晶显示面板制造行业中,阵列基板的制作工艺是制备显示面板的重要部分。阵列基板的制作包括:清洗、成膜、涂布、曝光、显影、后烘烤等。目前,在阵列基板的制作过程中均需要风刀和液刀辅助玻璃基板进行清洗、显影、刻蚀等步骤。然而,目前风刀的喷嘴处经常出现压力不均匀,造成玻璃基板产生风刀痕。此外,液刀在喷嘴处也经常出现流量不均匀,造成玻璃基板在显影及刻蚀等步骤中反应不均匀等现象。
发明内容
本发明的目的在于提供一种调压装置,用以解决喷涂刀具在喷嘴处压力不均匀的问题,以提高液晶显示面板的良率。
一种调压装置,用于调节气体或者液体的压力,其包括:壳体及设于所述壳体内的膜片、弹性体及平面阀;所述壳体包括依次连接的第一收容腔和第二收容腔;所述第一收容腔和所述第二收容腔之间设有一通孔;所述膜片和弹性体设于所述第二收容腔内,且所述膜片与所述弹性体一端连接;所述膜片盖住所述通孔且所述膜片的周缘与所述第二收容腔周壁抵持,所述平面阀包括压力调节杆及与所述压力调节杆连接的活动杆,所述平面阀设于所述第一收容腔内,所述活动杆伸入所述第二收容腔内与所述弹性体连接;所述第一收容腔内设有通道,所述压力调节杆活动装于所述通道内;当进入所述第一收容腔的气体或者液体穿过所述通孔,并推动所述膜片挤压所述弹性体,所述弹性体沿远离所述第一收容腔移动,并带动所述连接杆拉动所述压力调节杆相对所述通道移动,以使所述通道内的气体或者液体的的压力减小或增大。
其中,所述平面阀包括连接杆,所述连接杆连接所述压力调节杆和活动杆。
其中,所述通道的内径沿着远离所述第二收容腔的方向呈递增变化,所述压力调节杆插入所述通道内,与所述通道贴合。
其中,所述第一收容腔与所述第二收容腔之间设有贯通所述第一收容腔与所述第二收容腔的孔,所述孔内设有密封环,所述活动杆穿过所述密封环,并在所述密封环内滑动。
其中,所述膜片由可伸缩柔性材料制成。
其中,所述弹性体为弹簧,所述弹簧的一端固定有推板,另一端设有连接板,所述推板与所述膜片密封连接,所述连接板用以抵持所述弹性体。
其中,所述调压装置还包括手动调节部;所述手动调节部包括手动旋钮和旋转螺杆;所述手动旋钮设于所述壳体外部,所述旋转螺杆伸入所述第二收容腔,并与所述弹性体的所述连接板连接。
其中,所述手动调节部还包括保护罩和固定于所述保护罩周缘的固定部;所述保护罩伸入所述第二收容腔,固定于所述连接板上。
其中,所述第一收容腔内设有间隔设置的进口和出口,所述进口用以通入气体或液体,所述出口用以排出所述气体或者液体。
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