[发明专利]旋转靶材制备设备

权利要求书

1.一种旋转靶材制备设备，其特征在于，包括对靶材原料进行加热融化的加热装置，所述加热装置上设置有将融化的所述靶材原料喷出的喷出装置；

与所述喷出装置对接的喷涂装置，所述喷涂装置内设置容置待成型靶材管材沿其轴向传输的喷涂通道，所述喷涂装置上还开设有连通所述喷出装置的喷头和所述喷涂通道的喷涂腔；

所述加热装置包括加热外壳和设置于所述加热外壳内以容置所述靶材原料的装载坩埚；

还包括对所述加热外壳内空气进行抽取并通入氮气保护气的换气装置；所述加热外壳上设置有对其内气压进行泄压的泄压装置。

2.根据权利要求1所述的旋转靶材制备设备，其特征在于，所述加热外壳和所述装载坩埚之间架设有对所述装载坩埚进行加热的加热模块，所述装载坩埚的底部开设连通所述喷出装置的喷涂管路的下料孔。

3.根据权利要求1所述的旋转靶材制备设备，其特征在于，所述喷出装置还包括连通所述下料孔的下料管，所述下料管的末端设置伸入所述喷涂腔的喷头，所述喷头和所述下料管之间设置连通二者的开关控制阀。

4.根据权利要求2所述的旋转靶材制备设备，其特征在于，所述加热外壳和所述加热模块之间还设置有对所述加热装置内进行保温的保温模块。

5.根据权利要求2所述的旋转靶材制备设备，其特征在于，所述加热模块为环绕所述装载坩埚的周向布置的多个加热器。

6.根据权利要求1所述的旋转靶材制备设备，其特征在于，还包括架撑待成型所述靶材管材的夹紧装置，所述夹紧装置上还设置有驱动所述夹紧装置沿所述靶材管材的轴向传输的管材传送装置；

驱动所述靶材管材沿其轴心转动的转动驱动装置。

7.根据权利要求6所述的旋转靶材制备设备，其特征在于，所述喷涂装置的前端和后端均设置有与所述喷涂通道连通，对待成型的所述靶材管材进行加热的预加热器；所述夹紧装置上设置有与所述靶材管材的内腔连通的冷却通道。

8.根据权利要求1所述的旋转靶材制备设备，其特征在于，所述喷涂装置上开设有与所述喷涂通道连通对所述喷涂通道内空气进行抽取的抽气通道。

9.根据权利要求6所述的旋转靶材制备设备，其特征在于，还包括架撑所述喷涂装置和所述夹紧装置的机架，所述机架上设置对所述管材传送装置进行滑移导向的导向滑轨，所述机架的端部设置有驱动所述管材传送装置动作的轴向驱动装置。