[发明专利]腔内合束多波长输出激光器

说明书

本发明提供了一种多波长输出激光器，包括：至少两个谐振腔单元，所有谐振腔单元共用一输出腔镜；输出腔镜设置在任一谐振腔单元内的光束传输方向上；激光器中除任一谐振腔单元外的每一谐振腔单元内均设置有波长合束镜，激光器中的所有波长合束镜均设置在任一谐振腔单元内的光束传输方向上，每一波长合束镜均用于将所处的谐振腔单元内的光束与任一谐振腔单元内的光束进行合束，合束后的光束传输方向与任一谐振腔单元内的光束传输方向重合。本发明提供的共用输出腔镜的腔内合束多波长输出激光器克服了腔外合束指向性调整难度大，光束质量差，远距离光斑重合性差等问题，可以实现输出的各个波长的激光具有完全相同的指向性，且光束质量好。

技术领域

本发明涉及光学技术领域，更具体地，涉及腔内合束多波长输出激光器。

背景技术

波长合束是将两个或两个以上不同波长的光束合成一束，得到和单束光光束质量相当、亮度提高数倍的激光输出，这种对波长的开放性，使得波长合束技术逐渐成为研究热点，并取得了一些较大的突破，输出功率达到了数千瓦级。

但目前存在的多波长合束都是腔外合束，存在指向性调整难度大，合束后整体光束质量差，远距离光斑重合性差等问题。

发明内容

为克服上述问题或者至少部分地解决上述问题，本发明提供了一种腔内合束多波长输出激光器。

一方面，本发明提供了一种多波长输出激光器，包括：至少两个谐振腔单元，且所述激光器内的所有谐振腔单元共用一输出腔镜；

所述输出腔镜设置在任一谐振腔单元内的光束传输方向上；

所述激光器中除所述任一谐振腔单元外的每一谐振腔单元内均设置有波长合束镜，所述激光器中的所有波长合束镜均设置在所述任一谐振腔单元内的光束传输方向上，每一波长合束镜均用于将所处的谐振腔单元内的光束与所述任一谐振腔单元内的光束进行合束，所述合束后的光束传输方向与所述任一谐振腔单元内的光束传输方向重合。

优选地，所述激光器中除所述任一谐振腔单元外的每一谐振腔单元内的光束传输方向与所述任一谐振腔单元内的光束传输方向相互垂直。

优选地，所述激光器中除所述任一谐振腔单元外的每一谐振腔单元内的光束传输方向与所述任一谐振腔单元内的光束传输方向相互平行；

所述激光器中除所述任一谐振腔单元外的每一谐振腔单元内均设置有与所述波长合束镜平行设置的反射镜，所述反射镜用于将所处的谐振腔单元内的光束传输方向调整至与所述输出腔镜平行的方向上；

所述激光器中的所有波长合束镜均设置在所述任一谐振腔单元内的光束传输方向上，每一波长合束镜均用于将所处的谐振腔单元内反射镜调整后的光束与所述任一谐振腔单元内的光束进行合束，所述合束后的光束传输方向与所述任一谐振腔单元内的光束传输方向重合。

优选地，所述激光器中除所述任一谐振腔单元外的所有谐振腔单元中，至少有一个谐振腔单元内的光束传输方向与所述任一谐振腔单元内的光束传输方向相互垂直，且至少有一个谐振腔单元内的光束传输方向与所述任一谐振腔单元内的光束传输方向相互平行；

在内部的光束传输方向与所述任一谐振腔单元内的光束传输方向相互平行的谐振腔单元内设置有反射镜，所述反射镜用于将所处的谐振腔单元内的光束传输方向调整至与所述输出腔镜平行的方向上；

所述激光器中的所有波长合束镜均设置在所述任一谐振腔单元内的光束传输方向上，波长合束镜用于将所处的谐振腔单元内的光束与所述任一谐振腔单元内的光束进行合束，或者用于将所处的谐振腔单元内反射镜调整后的光束与所述任一谐振腔单元内的光束进行合束，所述合束后的光束传输方向与所述任一谐振腔单元内的光束传输方向重合。

优选地，所述激光器中除所述任一谐振腔单元外的每一谐振腔单元内的反射镜与所述任一谐振腔单元内的光束传输方向成45度夹角。