[发明专利]一种非晶合金微针的制造方法

权利要求书

1.一种非晶合金微针的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括如下步骤：

S1：提供一硅片，采用微纳加工方式在硅片上制作微针成型硅模；

S2：提供一模具，将硅模装配于模具的下模的铜制底座上；

S3：提供原材料，将原材料混合后反复熔炼数次；

S4：将微针成型硅模的型腔抽至真空状态；

S5：将S3中得出的熔融的原料注入型腔进行压铸；

S6：非晶零件成型后取出成型的非晶微针工件；

所述硅片上设置有凹模，所述硅片的底部设置有底部散热微结构和定位孔，所述铜制底座上设置有定位凸台，所述定位凸台与所述定位孔相互配合；所述S1步骤中的硅模为中硅模，所述中硅模的厚度为300～800μm；所述S1步骤中使用脉冲激光进行倒锥形凹模刻蚀，倒锥深度为50～500μm，顶部直径为40～300μm，间距范围50～300μm；所述S1步骤中，使用脉冲激光加工硅片的底部，加工成型后，底部散热微结构深度为10～50μm，底部散热微结构宽度为10～50μm，底部散热微结构间距范围10～50μm；采用脉冲激光加工定位孔，孔径mm。

2.根据权利要求1所述的一种非晶合金微针的制造方法，其特征在于：所述S3步骤还包括，提供非晶合金原材料，并将对合金原材料进行四次或四次以上的熔炼过程。

3.根据权利要求1所述的一种非晶合金微针的制造方法，其特征在于：所述S4步骤中，型腔真空度为50mbar以下。

4.根据权利要求1所述的一种非晶合金微针的制造方法，其特征在于：所述S5步骤中，压铸过程中材料流动速率大于3m/s，原材料压铸前温度大于650K。