[发明专利]一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台

权利要求书

1.一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台，包括平台主体(5)，其特征在于：所述平台主体(5)上有四条柔性铰链，并通过四条铰链将平台主体(5)分为A区、B区、C区、D区四部分，所述A区为移动区，所述B区和C区为受力变形区，所述D区为固定区；

所平台主体(5)两端设有左盲孔(11)和右盲孔(12)，所述左盲孔(11)的底部为光滑圆锥面，其内部安装有弹簧预紧组件，所述右盲孔(12)的底部也为光滑圆锥面，其内部安装有压电陶瓷组件，所述弹簧预紧组件和压电陶瓷组件构成放大机构；所述压电陶瓷组件包括压电陶瓷(7)、预紧螺母B(9)和锁紧螺母B(10)，所述压电陶瓷(7)、预紧螺母B(9)和锁紧螺母B(10)从左往右依次连接安装在右盲孔(12)中；所述压电陶瓷(7)两端分别设有钨钢半球A(6)和钨钢半球B(8)；所述预紧螺母B(9)与压电陶瓷(7)接近的一端侧壁也设为圆锥面，所述钨钢半球B(8)与预紧螺母B(9)接触。

2.根据权利要求1所述的一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台，其特征在于：所述左盲孔和右盲孔均截止在B区，并不连通，所述B区的主剖截面构成“X”形。

3.根据权利要求2所述的一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台，其特征在于：所述右盲孔(12)水平贯穿D区，其孔底截止在B区和C区的右端内，所述右盲孔(12)的孔底内壁设为圆锥面，所述钨钢半球A(6)的表面与该圆锥面接触；所述左盲孔(11)水平贯穿A区，其孔底截止在B区左端内，所述左盲孔(11)的孔底内壁也设为圆锥面，所述半球螺母(4)的表面与该圆锥面接触。

4.根据权利要求1所述的一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台，其特征在于：所述弹簧预紧组件包括锁紧螺母A(1)、预紧螺母A(2)、半球螺母(4)和弹簧(3)，所述锁紧螺母A(1)、预紧螺母A(2)和半球螺母(4)从左往右依次连接，所述弹簧(3)设在半球螺母(4)和预紧螺母A(2)上，所述弹簧(3)安装完毕后为压缩状态。

5.根据权利要求1所述的一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台，其特征在于：半球螺母(4)和钨钢半球A(6)接触部分均位于B区内。

6.根据权利要求2所述的一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台，其特征在于：所述左盲孔(11)和右盲孔(12)设在同一水平轴线上,且重合。

7.根据权利要求1所述的一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台，其特征在于：所述锁紧螺母B(10)和预紧螺母B(9)通过螺纹和平台主体(5)相连，

8.根据权利要求1所述的一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台，其特征在于：所述锁紧螺母A(1)和预紧螺母A(2)分别通过螺纹和平台主体(5)相连。