[发明专利]一种非晶钛酸锶薄膜器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201711474152.5 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108232011B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 汤卉;唐新桂;刘秋香;蒋艳平;张天富 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 非晶钛酸锶 薄膜 器件 及其 制备 方法 | ||
1.一种非晶钛酸锶薄膜器件的制备方法，包括：
在基底表面旋涂底电极溶液后退火，形成底电极；
在所述底电极表面旋涂钛酸锶溶液后进行烘烤，形成钛酸锶薄膜；
将所述钛酸锶薄膜进行退火处理，形成非晶薄膜；
在所述非晶薄膜表面进行电子束蒸发溅射形成顶电极，得到非晶钛酸锶薄膜器件；
所述底电极为FTO；
所述钛酸锶薄膜的厚度为300nm；
所述退火的温度为400℃，时间为12min；
所述顶电极为直径为0.5mm的圆点状金电极；
所述非晶钛酸锶薄膜器件应用于非易失性存储，开关比为103。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述钛酸锶溶液的浓度为0.25~0.3mol/L。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述钛酸锶溶液的制备方法为：
将钛酸丁酯溶液滴加到硝酸锶溶液中混合，得到钛酸锶溶液。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述钛酸丁酯溶液的溶剂为乙酰丙酮；
所述硝酸锶溶液的溶剂为乙二醇。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述非晶钛酸锶薄膜的制备方法具体为：
在所述底电极表面先以第一速度旋涂第一时间的钛酸锶溶液，再以第二速度旋涂第二时间钛酸锶溶液；将旋涂钛酸锶溶液后的底电极先在第一温度烘烤再在第二温度烘烤，得到钛酸锶薄膜；
所述第一速度为800r/min；所述第一时间为15s；
所述第二速度为3000r/min；所述第二时间为20s；
所述第一温度为180℃；所述第二温度为300℃。
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