[发明专利]多参数在线检测的石英晶体微天平系统

权利要求书

1.一种多参数在线检测的石英晶体微天平系统，其特征在于：包括：

石英晶体微天平(1)，正面含有三对相同的检测电极(6)，每对电极之间开设有凹槽(8)；背面设有三种不同的感应层，正中间完全覆盖的金薄膜(10)为参考感应层，左边的金圆环(9)为检测介电常数的感应层，右边在石英晶体微天平(1)背面覆盖的金薄膜上方电镀的凸台阵列(11)，为检测粘度和密度的感应层；所述检测电极呈半圆形，向两边延伸至石英晶体微天平边缘，以方形作为电极引出管脚；所述凸台阵列为正方形，边长与检测电极直径相同，凸台阵列高度范围为1μm-5μm；所述金圆环外径与检测电极直径相同；所述凹槽长度与检测电极直径相同；

上封盖(4)，中心开设有待测物流入的进样口(12)和流出的出样口(13)；

中间层(2)，中心开设有凹槽，凹槽呈两级台阶向下，分别为一级台阶(16)和次级台阶(17)，一级台阶(16)边缘开设有三对向下探头通孔，所述石英晶体微天平(1)正面电极向下置于一级台阶(16)上，次级台阶(17)上每对电极之间设有振荡隔离台(39)；

密封垫片(3)，位于上封盖(4)和中间层(2)之间，密封垫片(3)中心部分开设有通孔(26)，该通孔与上封盖的进样口(12)和出样口(13)连通，形成流通池结构，待测物从进样口(12)流入后，流经石英晶体微天平(1)的背面金圆环(9)、金薄膜(10)和凸台阵列(11)后，从出样口(13)流出；

下封盖(5)，开有与中间层(2)的三对电极通孔相对应的通孔。