[发明专利]一种透射光栅衍射效率的检测系统

权利要求书

1.一种透射光栅衍射效率的检测系统，其特征在于，包括：

用于生成包括软X射线和极紫外波段的入射光束的激光等离子体光源；

用于接收所述入射光束、且选择所述软X射线或所述极紫外波段出射的单色分光装置，其中，待测透射光栅设置于所述单色分光装置的出光光路上；

以及，用于接收所述单色分光装置的出射图像或接收所述待测透射光栅的衍射图像的接收装置，以根据所述出射图像和所述衍射图像分析所述待测透射光栅的相对衍射效率和/或绝对衍射效率。

2.根据权利要求1所述的透射光栅衍射效率的检测系统，其特征在于，所述激光等离子体光源包括：

Nd：YAG激光器；

设置于所述Nd：YAG激光器的出光光路上的会聚透镜；

以及，设置于所述会聚透镜的出光光路上的靶材。

3.根据权利要求2所述的透射光栅衍射效率的检测系统，其特征在于，所述Nd：YAG激光器用于在输出第一预设光脉冲后，再次输出第二预设光脉冲，所述第一预设光脉冲的功率小于所述第二预设光脉冲的功率。

4.根据权利要求2所述的透射光栅衍射效率的检测系统，其特征在于，所述靶材为金属铜靶材。

5.根据权利要求1所述的透射光栅衍射效率的检测系统，其特征在于，所述单色分光装置包括：

设置于所述激光等离子体光源的出光光路上的入射狭缝；

设置于所述入射狭缝的出光光路上的凹面光栅；

以及，设置于所述凹面光栅的出光光路上的出射狭缝，其中，所述入射狭缝、凹面光栅和出射狭缝形成罗兰圆。

6.根据权利要求5所述的透射光栅衍射效率的检测系统，其特征在于，所述出射狭缝、所述待测透射光栅和所述接收装置位于同一轴线上。

7.根据权利要求1所述的透射光栅衍射效率的检测系统，其特征在于，所述接收装置为背照射CCD相机。

8.根据权利要求1所述的透射光栅衍射效率的检测系统，其特征在于，所述单色分光装置采用预设光源装置进行波长定标。

9.根据权利要求8所述的透射光栅衍射效率的检测系统，其特征在于，所述预设光源装置为空心阴极光源装置。

10.根据权利要求9所述的透射光栅衍射效率的检测系统，其特征在于，所述空心阴极光源装置的工作气体为He气。